좌용호 교수 연구실
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·2026
Selective laser-induced etching process-enabled double-cavity glass MEMS hydrogen sensor at room-temperature sensitivity
Ji Young Park, Byungkwon Jang, Jun Young Kim, Nosang V. Myung, Yong‐Ho Choa
IF 9.9 (2026) Microsystems & Nanoengineering
초록

열분리 및 스필오버(dissociation and spillover)로 인해 상온에서도 화학저항성(chemiresistive) 변환이 가능해진다. 유한요소 시뮬레이션과 적외선 열화상(thermography) 결과, 동일한 전기 구동 조건에서 낮은 열전도율의 유리 및 이중 캐비티(double-cavity) 아키텍처가 열 손실을 억제하여 감지 영역을 평판(planar) 구조에 비해 약 10 °C 더 높은 온도로 유지하는 것으로 나타났다. 이러한 열적 이점은 상온에서 민감도(sensitivity)가 1자릿수 자릿수(10배, order-of-magnitude)의 증가, 즉 약 10배 향상으로 직접 이어진다. 결합(bonding-free) 공정을 배제한 단순화된 단일 유리 웨이퍼 공정과 Pt/NCS 기능화된 부유(suspended) 막을 통합함으로써, 본 연구는 마이크로시스템 응용을 위한 고성능 상온 수소(hydrogen) 센싱의 확장 가능하고 경제적이며 신뢰할 수 있는 플랫폼을 구축한다.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
Microelectromechanical systemsEtching (microfabrication)Sensitivity (control systems)Hydrogen sensorHydrogenProcess (computing)
타입
article
IF / 인용수
9.9 / 0
게재 연도
2026

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