정렬 시스템(Alignment System)은 다축의 스테이지를 이용하여 신속하게 물체를 정렬오차 범위 내로 위치결정시키는 역할을 한다. 본 연구에서는 병렬구조로 설계하여 두께가 얇고 높은 정밀도와 더불어 강성이 높은 XY$\theta$ 정렬 스테이지를 개발하였다. 개발된 박형 병렬구조 XY$\theta$정렬 스테이지는 직각도, 반복정밀도, 진직도 등의 3가지 측정항목에 대해 초정밀급을 달성하였으며 반복정밀도는 $1\mu m$미만이다. 비전시스템 및 정렬알고리즘을 활용한 정렬성능 평가에서는 정렬오차 $\pm 6.25\mu m$를 달성하였다. LCD, PDP 및 MLCC와 같은 적층 다층 어셈블리의 수직 배치를 결정하기 위해 다축 운동을 갖는 정렬 시스템이 적용된다. 본 연구에서는 박형 타입 구조와 병렬 구동을 갖도록 설계된 XY$\theta$ 정렬 스테이지의 개발을 보고한다. 박형 병렬 XY$\theta$ 정렬 스테이지는 반복정밀도 오차를 $1\mu m$ 미만으로 유지한다. 또한 직각도와 진직도는 개발된 스테이지에 의한 정렬을 정밀하게 가능하게 한다. 측정된 오차는 병렬 XY$\theta$ 정렬 스테이지에서 비전 시스템을 이용한 정렬 실험에서 $\pm 6.25\mu m$이다.

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