평면 디스플레이에서 광학적 기능을 수행하는 홈과 렌즈와 같은 미세 특징은, 광학 성능과 직접적으로 관련되므로 양호한 형상 정확도로 제조되어야 한다. 디스플레이의 크기가 커질수록, 대면적 플레이트의 휨(waviness)과 같은 내재적 기하학적 오차 때문에 높은 상대 정확도를 유지하는 것이 매우 어렵다. 본 논문에서는 이러한 기하학적 오차가 광학적 효과에 미치는 영향을 조사하고, 그와 같은 기하학적 오차를 라인 상에서 측정 및 보상하기 위한 표면 기준(surface-referenced) 마이크로 홈가공을 제안하여 마이크로 홈의 형상 정확도를 향상시키고자 한다. 기준이 되는 휜 표면에 대해 홈 깊이를 균일하게 유지하기 위해, 공구 홀더(tool holder)에 PZT 기반의 고속 심도 조정 서보 시스템을 구현하였다. 실험을 통해 제안된 방법이 휜 다이(die) 표면에서 고품질 마이크로 홈을 생산하는 효율적인 방법임이 입증되었다.

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