Real-time Temperature Monitoring of Wafer Chuck and Focus Ring at Ar plasma | 권기청 교수 연구실 | 광운대학교 전자바이오물리학과

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논문

구성원

KISM 2025 BUSAN

Real-time Temperature Monitoring of Wafer Chuck and Focus Ring at Ar plasma

구분

국내

국가

대한민국

컨퍼런스명

KISM 2025 BUSAN

발표 제목

Real-time Temperature Monitoring of Wafer Chuck and Focus Ring at Ar plasma

기관명

한국반도체디스플레이기술학회

참여 연도

2025

상세 설명

한국반도체디스플레이기술학회

주식회사 디써클

대표 장재우,이윤구서울특별시 강남구 역삼로 169, 명우빌딩 2층 (TIPS타운 S2)대표 전화 0507-1312-6417이메일 info@rndcircle.io사업자등록번호 458-87-03380호스팅제공자 구글 클라우드 플랫폼(GCP)