한정환 교수 연구실
2024 한국반도체학술대회
Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition of TiN/Mo2N Stacks for Advanced Strorage Nodes in Next-generation DRAM Capacitors
구분
국내
국가
대한민국
컨퍼런스명
2024 한국반도체학술대회
발표 제목
Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition of TiN/Mo2N Stacks for Advanced Strorage Nodes in Next-generation DRAM Capacitors
기관명
한국반도체학술대회
참여 연도
2024
상세 설명
한국반도체학술대회