한정환 교수 연구실
2024한국반도체학술대회
Fabrication of MoO2 Electrode by Thermal Atomic Layer Deposition for High-performance TiO2-Based DRAM Capacitors
구분
-
국가
-
컨퍼런스명
2024한국반도체학술대회
발표 제목
Fabrication of MoO2 Electrode by Thermal Atomic Layer Deposition for High-performance TiO2-Based DRAM Capacitors
기관명
한국반도체학술대회
참여 연도
2024
상세 설명
한국반도체학술대회