이 연구는 β-다이케톤 리간드를 갖는 금속-유기 전구체를 이용하여 자외선(UV) 보조 어닐링 공정으로 스핀-온 산화물 반도체를 합성함을 보여준다. 이 공정은 수소 및 산소 관련 도너 종(donor species)의 높은 밀도를 유지하면서 분해와 이어지는 응축(condensation)을 촉진한다. 이러한 도너는 자유 전자를 효과적으로 공급하고, 도체 밴드 최소값(CBM) 근처의 천이(얕은) 트랩 상태를 채워, 캐리어 이동도와 온전류를 향상시킨다. SiO2 게이트 절연체를 사용한 하부 게이트 트랜지스터에서 피크 전계 효과 이동도 89 cm2/V·s, 온전류(Ion) 26.42 μA, 그리고 Ion/Ioff 비 108을 달성하였다. 또한 CBM 근처의 높은 트랩 상태 밀도는 UV에서 가시광까지의 스펙트럼 검출 범위를 확장하여, 높은 감도(responsivity) 8,900 A/W와 검출도(detectivity) 1.26 × 1014 Jones를 산출하였다. 이와 같은 광응답의 광대역 특성을 활용하여 휘발성 유기화합물(VOCs) 검출을 위한 수직 적층 센서 플랫폼을 추가로 개발하였다. 이러한 결과는 고성능 산화물 전자소자와 다기능 센서 플랫폼을 구현하기 위한 강력한 전략으로서 UV 보조 용액 공정이 가능함을 시사한다.

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