미세가공 공정은 항공우주, 자동차, 원자력, 생의학 및 반도체 등 다양한 산업에서 기술 발전에 필수적이다. 특히 미세절삭가공은 재료 선택, 치수 정밀도 및 복잡한 형상 구현에서 장점을 제공한다. 그러나 미세가공된 티타늄 합금 부품에서 버(burr)가 형성되는 문제는 의료용 임플란트 적용에 있어 중대한 과제를 야기하며, 이는 표면 품질과 생체적합성을 저하시킨다. 본 연구는 Ti-6Al-4V 미세 채널에 대해 연마 공정과 O 2 플라즈마 대형 펄스 전자빔(LPEB) 조사를 결합한 하이브리드 디버링 접근법을 제시한다. 연마, LPEB, 하이브리드 가공의 세 가지 디버링 방법을 비교하였다. 하이브리드 접근법은 최소 버 높이(16.25 μm)와 오차 면적(49.97 μm²)으로 우수한 성능을 달성하였으며, 이는 연마 단독 디버링과 비교하여 각각 78.26%, 59.34% 감소를 나타낸다. 상부 1.25 μm, 하부 1.12 μm의 표면 거칠기 값이 얻어졌고, 산소 공위(oxygen vacancy) 형성과 화학적 변질을 통한 향상된 친수성이 함께 확인되었다. 이러한 결과는 LPEB 기반 하이브리드 디버링이 의료용 임플란트 제조에 필요한 핵심 요구사항을 효과적으로 해결함과 동시에 기하학적 정확성, 표면 품질 및 생체적합성을 동시에 향상시킬 수 있음을 보여준다.

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