급격한 기술 발전은 센서에 대한 수요를 증가시켰다. 따라서 차세대 기술에 적합한 고성능이 요구된다. 감지 기술은 다양한 응용 분야를 가지므로 센서 제작에는 여러 재료와 패터닝 방법이 사용된다. 이는 센서의 특성과 성능에 영향을 미치며, 고집적 및 고성능을 위해 이러한 패턴에 특화된 연구가 필요하다. 본 논문에서는 최근에 보고된 센서에서 사용된 패터닝 기술을, 특히 가장 널리 사용되는 용량성 센서를 중심으로 검토하고, 이것이 센서 성능에 미치는 영향을 논의한다. 또한 3차원(3D) 구조를 통해 센서 성능을 향상시키는 방법을 소개한다.

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