프리얼라인 장치 및 방법
APPARATUS AND METHOD FOR PREALIGNING
특허 요약
본 발명은 프리얼라인 장치 및 그의 방법에 관한 것으로서, 상호 대향되는 제1변과, 상기 제1변과 수직하는 방향으로 상호 대향되는 제2변을 포함하는 피정렬기재의 프리얼라인 장치에 있어서, 상기 피정렬기재의 하방에 마련되어 상기 피정렬기재가 거치되는 거치부; 상기 제1변 또는 상기 제2변을 상호 근접하는 방향으로 가압하는 가압부; 상기 제1변 또는 상기 제2변이 승강되도록 상기 거치부를 승강시키는 승강 구동수단; 및 상기 제1변이 거치된 거치부가 상승시 상기 가압부는 상기 제1변 또는 상기 제2변을 가압하며, 상기 제2변이 거치된 거치부가 상승시 상기 가압부는 상기 제1변 또는 제2변을 가압하여 상기 피정렬기재를 정렬하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이를 통해, 대면적 기판에서도 기판의 위치가 변형되지 않게 중심을 잡아주는 프리얼라인 작업이 가능하도록 제어하여 중심이 틀어져서 로딩된 대면적 기판을 정렬시킬 수 있는 프리얼라인 장치 및 그의 방법에 관한 것이다.
청구항
번호청구항
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상호 대향되는 제1변과, 상기 제1변과 수직하는 방향으로 상호 대향되는 제2변을 포함하는 피정렬기재의 프리얼라인 장치에 있어서,상기 피정렬기재의 하방에 마련되어 상기 피정렬기재가 거치되는 거치부;상기 제1변 또는 상기 제2변을 상호 근접하는 방향으로 가압하는 가압부;상기 제1변 또는 상기 제2변이 승강되도록 상기 거치부를 승강시키는 승강구동수단; 및상기 제1변이 거치된 거치부가 상승시 상기 가압부는 상기 제1변 또는 상기 제2변을 가압하며, 상기 제2변이 거치된 거치부가 상승시 상기 가압부는 상기 제1변 또는 제2변을 가압하여 상기 피정렬기재를 정렬하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프리얼라인 장치.