플라즈마 전원 공급 장치 및 이를 포함하는 플라즈마 발생 설비가 제공된다. 상기 플라즈마 발생 설비는 내부 공간을 갖는 플라즈마 챔버, 복수의 권선, 상기 플라즈마 챔버의 복수의 지점에서의 전압 또는 전류를 측정하는 하나 이상의 센서, 및 상기 복수의 권선들 전부 또는 일부에 전원을 공급하는 전원 공급 장치로서, 상기 센서의 측정 결과에 기초해 제어되는 전원 공급 장치를 포함한다.