샘플의 물성 정보 및 슬라이싱 두께 정보를 획득하는 사용자 인터페이서부;상기 샘플을 고정 결합하며, 제1 방향 왕복 운동이 가능하도록 형성된 샘플 홀더부;상기 샘플을 슬라이싱(Slicing)하여 상기 슬라이싱 두께 정보가 나타내는 두께를 갖는 시료를 생성하는 복수 개의 블레이드들을 구비하고, 블레이드 선택 신호에 따라 상기 복수 개의 블레이드들 중 하나의 특정 블레이드를 선택하는 블레이드 선택부;상기 특정 블레이드를 고정 결합하며, 제2 방향 왕복 운동이 가능하도록 형성된 블레이드 홀더부;제1 모터 제어 신호에 따라 상기 샘플 홀더부를 이동시키는 제1 구동 모터 및 제2 모터 제어 신호에 따라 상기 블레이드 홀더부를 이동시키는 제2 구동 모터를 구비한 모터부; 및상기 획득된 슬라이싱 두께 정보 또는 상기 획득된 물성 정보에 대응하는 상기 블레이드 선택 정보, 상기 제1 모터 제어 신호 및 상기 제2 모터 제어 신호를 생성하고, 생성된 상기 블레이드 선택 정보에 따라 상기 하나의 특정 블레이드가 선택하도록 상기 블레이드 선택부의 동작을 제어하고, 생성된 상기 제1 모터 제어 신호 및 상기 제2 모터 제어 신호에 따라 상기 모터부가 동작하도록 제어하여 상기 샘플 홀더부와 상기 블레이드 홀더부의 상호 이동에 의해 상기 샘플로부터 상기 획득된 슬라이싱 두께 정보가 나타내는 두께를 갖는 시료가 생성되도록 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 재료의 표면 및 계면 시료 전처리 장치.