슬롯 다이
Slot die
특허 요약
균일한 박막 코팅을 위한 슬롯 다이로서, 촉매 슬러리를 수용하는 챔버부; 일단이 상기 챔버부 내로 돌출되어 연장되고, 타단으로부터 공급받은 촉매 슬러리를 상기 일단으로 이동시켜 상기 챔버부에 토출하는 공급부; 상기 공급부의 상기 일단에 형성되고, 촉매 슬러리를 상기 챔버부에 제1 방향으로 토출시키는 제1 토출부; 및 상기 제1 토출부의 외측에 위치하여 상기 공급부의 상기 일단에 형성되고, 촉매 슬러리를 상기 챔버부에 제2 방향으로 토출시키는 제2 토출부를 포함할 수 있다.
청구항
번호청구항
1

촉매 슬러리를 수용하는 챔버부;일단이 상기 챔버부 내로 돌출되어 연장되고, 타단으로부터 공급받은 촉매 슬러리를 상기 일단으로 이동시켜 상기 챔버부에 토출하는 공급부;상기 공급부의 상기 일단에 형성되고, 촉매 슬러리를 상기 챔버부에 제1 방향으로 토출시키는 제1 토출부; 및상기 제1 토출부의 외측에 위치하여 상기 공급부의 상기 일단에 형성되고, 촉매 슬러리를 상기 챔버부에 제2 방향으로 토출시키는 제2 토출부를 포함하는 슬롯 다이.

2

제 1항에 있어서,상기 제1 방향 및 제2 방향은 서로 수직인 슬롯 다이.

3

제 1항에 있어서,상기 제1 방향은 상기 공급부의 길이 방향과 평행하고, 상기 제2 방향은 상기 챔버부의 폭 방향과 평행한 슬롯 다이.

4

제 1항에 있어서,상기 제2 토출부는 상기 공급부의 상기 일단의 측면에 형성되는 슬롯 다이.

5

제 1항에 있어서,상기 제2 토출부는 서로 대향하는 복수의 토출구(outlet)를 포함하는 슬롯 다이.

6

제 1항에 있어서,상기 제1 토출부는 적어도 하나의 제1 토출구를 포함하고,상기 제2 토출부는 서로 대향하는 한 쌍 이상의 제2 토출구를 포함하고,상기 제1 토출구 및 제2 토출구의 면적은,상기 챔버부의 용적, 상기 공급부에 공급되는 촉매 슬러리의 공급 속도 또는 촉매 슬러리의 전단 점성률(shear viscosity)에 따라 조절되는 슬롯 다이.

7

제 6항에 있어서,상기 제1 토출부는 하나의 제1 토출구를 포함하고,상기 제2 토출부는 서로 대향하는 한 쌍의 제2 토출구를 포함하고,상기 제1 토출구 및 상기 제2 토출구는 원형이고,상기 제1 토출구의 반지름 길이는 상기 제2 토출구의 반지름 길이보다 큰 슬롯 다이.

8

제 7항에 있어서,상기 제1 토출구 및 상기 제2 토출구의 반지름 길이의 비는 5: 1 내지 5: 2인 슬롯 다이.

9

제 1항에 있어서,상기 제1 토출부를 개폐하는 개폐부를 더 포함하고,상기 제1 토출부가 밀폐되는 경우, 촉매 슬러리는 상기 제2 토출부를 통해 상기 챔버부로 배출되고,상기 제1 토출부가 개방되는 경우, 촉매 슬러리는 상기 제1 토출부 및 상기 제2 토출부를 통해 상기 챔버부로 배출되는 슬롯 다이.

10

제 9항에 있어서,상기 제1 토출부가 개폐되도록 상기 개폐부를 작동시키는 제어부를 더 포함하는 슬롯 다이.

11

제 10항에 있어서,상기 제어부는,상기 개폐부와 연결되고, 상기 공급부의 내부에 위치하여 상기 제1 방향을 따라 연장되는 샤프트(Shaft) 및상기 개폐부가 작동되도록 상기 샤프트를 이동시키는 엑츄에이터(Actuator)를 포함하는 슬롯 다이.

12

제 11항에있어서,상기 엑츄에이터는 공압 실린더, 유압 실린더 및 전동 실린더 중 적어도 하나를 포함하는 슬롯 다이.

13

제 1항에 있어서,상기 챔버부는,상기 챔버부로부터 연장되어 형성되고, 촉매 슬러리가 내측면을 따라 이동할 수 있는 슬릿(Slit) 및상기 슬릿의 일측에 형성되고, 상기 슬릿으로부터 공급받는 촉매 슬러리를 외부로 배출시키는 개구를 구비하는 다이 립(Die lip)을 더 포함하는 슬롯 다이.

14

제 13항에 있어서,상기 슬릿은 상기 챔버부로부터 제3 방향으로 연장되어 형성되고,상기 제3 방향은 상기 제2 방향과 수직인 슬롯 다이.