레이저쎌 주식회사
레이저 오토 레시피를 지원하는 마이크볼 리페어 장치 및 방법
LASER AUTO RECIPE SUPPORTING MICRO BALL REPAIR DEVICE AND METHOD
특허 요약
본 발명의 일실시예에 따른 레이저 오토 레시피를 지원하는 마이크로 볼 리페어 장치에 있어서, PCB가 안착되어 마이크로 볼 리페어 공정이 수행되는 워킹 스테이지; 솔더볼을 픽업하여 상기 리페어 공정이 수행될 위치에 부착하는 솔더볼 배치부; 서로 다른 파장 및 다른 조사 면적을 갖는 동축의 복수의 면광원 레이저를 상기 부착된 솔더볼에 빔을 조사하여 마이크로 볼을 형성하는 레이저 광학 모듈; 및 레이저 조사 출력과 조사 시간을 제어하는 레이저 레시피 제어부를 포함하며, 상기 레이저 광학 모듈은, 동축 비전 카메라와 사이드 비전 카메라를 더 포함하고, 상기 레이저 레시피 제어부는, 상기 동축 비전 카메라가 촬영한 탑 뷰 영상에서 상기 솔더볼의 밝기, 면적 또는 직경의 변화량을 산출하고, 상기 사이드 비전 카메라가 촬영한 사이드 뷰 영상에서 상기 솔더볼의 좌표 또는 높이를 산출하여 상기 마이크로 볼 상태 정보를 기초로 레이저 출력 세기 및 레이저 조사 시간을 포함하는 레이저 레시피를 자동 제어한다.
청구항
번호청구항
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레이저 오토 레시피를 지원하는 마이크로 볼 리페어 장치에 있어서,PCB가 안착되어 마이크로 볼 리페어 공정이 수행되는 워킹 스테이지;솔더볼을 픽업하여 상기 리페어 공정이 수행될 위치에 부착하는 솔더볼 배치부; 서로 다른 파장 및 다른 조사 면적을 갖는 동축의 복수의 면광원 레이저를 상기 부착된 솔더볼에 빔을 조사하여 마이크로 볼을 형성하는 레이저 광학 모듈; 및 레이저 조사 출력과 조사 시간을 제어하는 레이저 레시피 제어부를 포함하며, 상기 레이저 광학 모듈은, 동축 비전 카메라와 사이드 비전 카메라를 더 포함하고,상기 레이저 레시피 제어부는, 상기 동축 비전 카메라가 촬영한 탑 뷰 영상에서 상기 솔더볼의 밝기, 면적 또는 직경의 변화량을 산출하고, 상기 사이드 비전 카메라가 촬영한 사이드 뷰 영상에서 상기 솔더볼의 좌표 또는 높이를 산출하여 상기 마이크로 볼 상태 정보를 기초로 레이저 출력 세기 및 레이저 조사 시간을 포함하는 레이저 레시피를 자동 제어하는 것인마이크로 볼 리페어 장치.