본 발명은 전구체를 저장하는 캐니스터에 관한 것으로, 일 실시예에 따르면, 캐니스터의 상부 커버로부터 캐니스터 내부의 하방으로 연장된 튜브; 및 상기 튜브에 각각 부착된 판형상의 복수개의 히팅 모듈;을 포함하고, 각각의 히팅 모듈은 발열체를 구비하고, 상기 복수개의 히팅 모듈은 수직 방향으로 서로 소정 간격을 두고 배치된 캐니스터를 개시한다.