디바이스 웨이퍼로부터 분리된 TSV 캐리어 웨이퍼의 실리콘 산화막에 부착된 실록산 계열 접착제층을 제거하여 TSV 캐리어 웨이퍼를 재생하기 위한 TSV 캐리어 웨이퍼 재생 방법으로서,상기 실록산 계열 접착제층을 팽윤시키고, 팽윤된 실록산 계열 접착제층과 상기 실리콘 산화막 사이로 OH-가 침투되게 하여 상기 실리콘 산화막과 상기 실록산 계열 접착제층 사이의 가교 결합이 파괴되도록 하고, 상기 실리콘 산화막과의 가교 결합이 파괴된 상기 실록산 계열 접착제층이 막 형태를 유지한 채 상기 실리콘 산화막으로부터 리프트 오프(lift off) 되게 하는 세정약품을 세정조 내에 있는 상기 TSV 캐리어 웨이퍼에 적용하는 세정 단계와,상기 실리콘 산화에서 상기 실록산 계열 접착제층이 막 형태를 유지한 채로 리프트 오프된 상기 TSV 캐리어 웨이퍼를 상기 세정조 외부로 배출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 TSV 캐리어 웨이퍼 재생 방법.