다이아몬드상 탄소(Diamond-like Carbon; DLC) 박막의 제조 방법에 있어서,탄소화합물 가스 및 유기규소화합물 가스를 주입하여 대상체 상에 표면저항제어층을 증착하는 단계; 및탄소화합물 가스를 주입하여 상기 표면저항제어층 상에 코팅층을 증착하는 단계;를 포함하고,상기 다이아몬드상 탄소 박막의 표면 저항과 코팅 안정성을 조절하기 위해 상기 표면저항제어층 및 상기 코팅층의 두께비는 3:1 ~ 1:3이고,상기 탄소화합물은 벤젠이며, 상기 유기규소화합물은 헥사메틸디실록산(Hexamethyldisiloxane, HMDSO)이고,상기 다이아몬드상 탄소 박막의 제조 방법은,헥사메틸디실록산 가스를 주입하여 기재 상에 계면층을 증착하는 단계를 더 포함하며,상기 대상체는 상기 기재 상에 계면층이 증착된 것이고,상기 다이아몬드상 탄소 박막의 표면 저항은 5105 ~ 1109 ohm/sq인, 다이아몬드상 탄소 박막 제조 방법.