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인라인 기판 처리 장치
Device for processing substrates in-line
특허 요약
인라인 기판 처리 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 인라인 기판 처리 장치는 권출롤러에 권취된 광폭의 제1 기판을 권출하여 공급하는 권출부; 권출부로부터 공급된 제1 기판을 절단하여 소폭을 가지는 N개의 제2 기판을 형성하는 절단부; 절단부로부터 전달된 N개의 제2 기판의 양부를 판별하는 검사부; 검사부로부터 전달된 N개의 제2 기판을 각각 개별적으로 권취시키도록 N개의 권취롤러 및 N개의 권취롤러를 각각 회전시키는 N개의 동력부재를 구비하는 권취부; 및 절단부와 검사부 사이에 배치되며, N개의 제2 기판의 진출 방향을 전환시키도록 N개의 제2 기판의 일측에 각각 외력을 인가하는 N개의 외력인가부재를 구비하는 외력인가부;를 포함하고, N개의 외력인가부재는, N개의 권취롤러 사이의 회전 속도 차이에 의해 N개의 제2 기판 사이에 형성되는 장력 편차에 대응하여 서로 독립적으로 구동된다.
청구항
번호청구항
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제1 기판을 권출하여 공급하는 권출부;상기 권출부로부터 공급된 상기 제1 기판을 절단하여 N개의 제2 기판을 형성하는 절단부;상기 절단부로부터 전달된 상기 N개의 제2 기판의 양부를 판별하는 검사부;상기 검사부로부터 전달된 상기 N개의 제2 기판을 각각 개별적으로 권취시키도록 구비된 N개의 권취롤러를 포함하는 권취부; 및 상기 절단부와 상기 검사부 사이에 배치되며, 상기 N개의 제2 기판의 일측에 각각 외력을 인가하도록 N개의 외력인가부재를 포함하는 외력인가부; 를 포함하고,상기 N개의 외력인가부재는, 상기 N개의 제2 기판과 일대일 대응하도록 구비되어 서로 독립적으로 구동되는, 인라인 기판 처리 장치.

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제4 항에 있어서,상기 복수 개의 검사 카메라는 상기 N개의 제2 기판에 대해 각각 일대일 대응 또는 다대일 대응되도록 구비되고, 상기 검사 카메라들은 제2 기판의 폭 방향으로 서로 어긋나게 배치되는, 인라인 기판 처리 장치.

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제1 항에 있어서,상기 N개의 제2 기판에 형성된 이물을 세정하도록 상기 절단부와 상기 검사부 사이에 배치되는 세정부를 더 포함하고,상기 세정부는 제2 기판의 표면 또는 이면에 대해 적어도 하나 이상 구비되는 인라인 기판 처리 장치.

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제1 항에 있어서,상기 제1 기판 및 제2 기판은 연성인쇄회로기판인, 인라인 기판 처리 장치.

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제1 항에 있어서,상기 검사부는 둘 이상으로 구비되고, 각 검사부에서 상기 제2 기판에 대해 검사하는 검사 항목은 서로 상이한 인라인 기판 처리 장치.

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제1 항에 있어서,상기 절단부와 상기 검사부 사이에 서로 이격 배치되는 복수 개의 외력인가부를 포함하는, 인라인 기판 처리 장치.

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제1 기판을 권출하여 공급하는 권출부;상기 권출부로부터 공급된 상기 제1 기판을 절단하여 N개의 제2 기판을 형성하는 절단부;상기 절단부로부터 전달된 상기 N개의 제2 기판의 양부를 판별하는 검사부;상기 검사부로부터 전달된 상기 N개의 제2 기판을 각각 개별적으로 권취시키도록 구비된 N개의 권취롤러를 포함하는 권취부; 및 상기 절단부와 상기 검사부 사이에 배치되며, 상기 N개의 제2 기판의 일측에 각각 외력을 인가하도록 N개의 외력인가부재를 포함하는 외력인가부; 를 포함하고,상기 N개의 외력인가부재는, 상기 N개의 제2 기판과 일대일 대응하도록 구비되어 서로 독립적으로 구동되는, 인라인 기판 처리 장치.

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제1 항에 있어서,상기 N개의 외력인가부재는 일대일 대응되는 상기 제2 기판의 장력의 변화에 따라 위치가 가변되는, 인라인 기판 처리 장치.

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제2 항에 있어서,상기 외력인가부재의 위치를 감지하는 센서부재를 더 포함하고, 상기 N개의 외력인가부재는 상기 N개의 외력인가부재 중 적어도 하나가 한계 위치가 감지되는 경우, 전체적으로 구동이 정지되도록 제어되는, 인라인 기판 처리 장치.

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제1 항에 있어서,상기 검사부는 상기 N개의 제2 기판의 양부를 개별적으로 판별할 수 있도록 서로 이격 배치되는 복수 개의 검사 카메라를 포함하는, 인라인 기판 처리 장치.