본 발명의 일 실시예에 따른 절연층용 그라인딩 휠은 연마재가 포함된 휠 팁을 포함하고, 상기 연마재는 Si3N4 또는 ZrO2 중 적어도 하나를 포함하며, 반도체 웨이퍼의 전면에 구비되는 절연층을 기계적으로 그라인딩할 수 있다.