| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 일면이 개방되고 내측에 설정크기의 수용부를 구비하는 아우터 블록;상기 수용부에 결합되며, 복수의 볼이 서로 일정간격을 두고 이격하여 내장되는 이너 블록;상기 이너 블록의 상부를 덮어 결합되며, 상기 복수의 볼의 이탈을 방지하는 진공 플레이트; 및상기 진공 플레이트의 상부에 밀착되는 패드;를 포함하고,상기 아우터 블록은, 일측에 피팅부가 연결되는 측면연결부를 구비하고, 상부면이 개방된 박스형의 아우터 블록 몸체부;를 포함하고,상기 아우터 블록 몸체부의 하부에는, 상기 측면연결부와 연결되며 수평으로 연장된 제1 홀부와, 상기 제1 홀부와 연결되며 상기 수용부와 연통되도록 수직으로 연장된 제2 홀부가 구비되고,상기 이너 블록의 측면은 상기 수용부의 내부벽면에 밀착하도록 결합되고, 상기 이너 블록이 상기 수용부에 결합 시 상기 이너 블록의 하부면과 상기 수용부의 바닥면 사이에는 소정의 갭부가 형성되며,상기 이너 블록의 내측 하단에는 복수의 제3 홀부가 구비되고, 상기 이너 블록의 내측 상단에는 상기 복수의 제3 홀부 각각에 상하로 연통된 복수의 제4 홀부가 구비되며, 상기 복수의 제4 홀부 각각의 직경은 상기 복수의 제3 홀부 각각의 직경보다 확장된 형상을 가지고,상기 이너 블록은 상기 수용부에 대응하여 전후 길이가 좌우 길이보다 긴 직사각형 평면 형상을 가지며, 상기 복수의 볼 각각은 금속 소재로 이루어지고, 상기 복수의 볼 각각의 직경은 상기 복수의 제4 홀 각각에 대응하는 크기를 가지며,상기 진공 플레이트의 하부면은 상기 이너 블록의 상부면을 상하로 덮어 밀착되고, 상기 진공 플레이트의 상부면은 상기 패드의 하부면에 상하로 덮여 결합되며, 상기 진공 플레이트는 상기 복수의 제4 홀 각각의 위치에 대응하여 상하로 연통된 복수의 관통홀을 포함하고, 상기 복수의 관통홀 각각의 상부에는 소정의 높이만큼 상하 공간이 확보된 복수의 흡착공간부가 구비되며, 상기 복수의 흡착공간부는 상기 복수의 관통홀과 서로 연통하여 형성되고, 상기 패드는 상기 복수의 흡착공간부 각각과 연통된 복수의 흡착홀을 포함하는 진공 패드 장치. |