공정 챔버 내의 플라스마 부식성 분위기에서 사용하도록 적용된 고온 히터용 코팅재의 제조 방법으로서,상기 고온 히터의 내부에는 발열체가 매립되어 가열되고, 상기 고온 히터는 샤프트 형태의 지지대에 의해 지지되어 상하 운동이 가능하며, 상기 지지대의 내부에는 상기 발열체를 가열용 전원과 전기적으로 연결하는 도선이 설치되고,상기 고온 히터용 코팅재의 제조 방법은,상기 고온 히터의 표면을 이루는 모재를 제공하는 단계,상기 모재 위에 MgAl2O4만을 포함하는 버퍼층을 제공하는 단계,상기 버퍼층 위에 Y2O3-z (0003c#z≤0.1)를 포함하는 코팅층을 제공하는 단계, 및상기 모재, 상기 버퍼층 및 상기 코팅층을 600℃ 내지 1000℃로 열처리하는 단계를 포함하고,상기 버퍼층을 제공하는 단계에서, MgAl2O4 분말을 펠렛 프레스에 넣은 후에 가압하여 직경 25mm 및 두께 5mm로 제조하고 1200℃에서 6시간 동안 소결한 MgAl2O4 펠렛을 30Å의 증착 속도로 증발시키는 PVD(physical vapor deposition, 물리기상증착법)에 의해 상기 버퍼층을 형성하고, 상기 버퍼층의 두께를 상기 코팅층의 두께보다 작게 형성하고,상기 코팅층을 제공하는 단계에서, 상기 코팅층은 산화이트륨을 증발시켜 50Å의 증착 속도로 PVD에 의해 상기 버퍼층 위에 제공되는 코팅재의 제조 방법.