컴퓨터에 의해 이루어지는 광간섭 단층촬영장치용 결함 감지 방법으로서,시료의 전체 검사 영역 내 M개(복수) 단위 스캔 지점 각각에 대한 N개(복수) 파장의 파장별 광도 데이터인 M×N개의 파장별 광도 데이터를 로 데이터로 출력하는 광간섭 단층촬영장치로부터 상기 로 데이터를 수신하는 로 데이터 수신 단계; 상기 전체 검사 영역을 m개(복수)의 단위 스캔 지점을 포함하는 M÷m개의 소영역으로 구분하는 소영역 구분 단계;1개의 소영역에 대한 m×N개의 파장별 광도 데이터 중 미리 설정된 n개의 일부 파장에 대한 m×n개의 파장별 광도 데이터만을 소영역당 입력 데이터로 선택하는 과정을 상기 소영역들 모두에 대해 수행하여, 최종적으로 (M÷m)×(m×n)개의 입력 데이터를 선택하는 입력 데이터 선택 단계; 및상기 시료와 동일하고 결함이 없는 무결함 시료로부터 획득한 클린 데이터 세트 및 상기 시료와 동일하고 결함이 있는 결함 시료로부터 획득한 결함 데이터 세트로 학습한 인공지능 모델에 상기 (M÷m)×(m×n)개의 입력 데이터를 입력하고, 상기 인공지능 모델로 하여금 상기 시료에 결함이 있는지 여부를 판단케 하는 결함 유무 판단 단계;를 포함하는 광간섭 단층촬영장치용 결함 감지 방법.