디바이스의 전기적 특성을 검사하는 검사장치가 개시된다. 상기 검사장치는 상기 디바이스에 접촉하는 프로브를 지지하는 검사소켓; 상기 검사소켓에 고정되는 푸셔지지부; 상기 푸셔지지부에 지지되어 상기 디바이스를 가압하는 푸셔유닛; 및 상기 푸셔유닛이 가압구동되도록 상기 푸셔유닛을 상기 디바이스에 접근 또는 이격시키는 구동부를 포함한다. 상기 푸셔유닛은, 상기 디바이스를 가압하는 푸셔본체; 및 상기 구동부와 상기 푸셔본체 사이에 상기 디바이스의 가압방향에 가로로 슬라이딩 가능하며 슬라이딩 이동 위치에 따라 상기 푸셔본체가 복수의 가압방향 높이를 갖도록 마련된 푸셔두께조절부를 포함한다.