본 발명은 3차원 비휘발성메모리장치의 구조적 안정성을 확보할 수 있는 비휘발성메모리장치 및 그 제조 방법을 제공하기 위한 것으로, 본 발명의 비휘발성메모리장치는 주상형의 채널플러그; 상기 채널플러그를 에워싸며 교대로 적층된 복수의 워드라인 및 복수의 절연막; 상기 워드라인과 채널플러그 사이에 형성된 메모리막; 상기 복수의 워드라인의 일단부를 상호 연결시키는 워드라인연결부; 상기 워드라인연결부로부터 연장되며 상기 워드라인의 적층 방향에 따라계단 형상으로 형성된 복수의 워드라인연장부; 및 상기 워드라인연장부에 접하여 상기 절연막 사이에 형성된 복수의 지지막을 포함하고, 상술한 본 발명은 쓰러짐에 취약한 슬리밍영역의 희생막을 완전히 스트립하지 않고 필요한 만큼만 스트립하는 것이 가능하기 때문에 3차원 비휘발성메모리장치의 구조적 안정성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.