| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 | 이득 영역, 위상 영역, DBR 영역 및 광변조기(EAM)를 포함하고, 상기 광변조기는, 하부 클래드층; 상기 하부 클래드층 상에 배치되는 도파로; 상기 도파로 상에 배치되는 상부 클래드층; 상기 하부 클래드층 및 상기 상부 클래드층 상에 배치되는 차단 박막; 상기 차단 박막 상에 배치되는 광변조기 히터 전극; 상기 차단 박막 상에 배치되는 유전체층; 및 상기 유전체층 및 상기 상부 클래드층 상에 배치되는 광변조기 전극을 포함하는, 파장 가변 레이저. |