X-Y-Z의 3축으로 된 고정좌표계의 고정원점이 정의되는 고정 플랫폼;상기 고정 플랫폼에 대해 이동하도록 구성되고, x-y-z의 3축으로 된 이동좌표계의 이동원점이 정의되는 이동 플랫폼; 및상기 고정 플랫폼에 대해 상기 이동 플랫폼을 탄성 지지하도록 구성된 복수의 단위 순응 기구부를 포함하고, 상기 복수의 단위 순응 기구부는 각각, 상기 고정 플랫폼에 고정된 제1 단부 및 상기 제1 단부에 반대된 제2 단부를 포함하는 외팔보 구조물; 및 제1 볼 조인트를 통해 상기 외팔보 구조물의 상기 제2 단부에 결합되고 제2 볼 조인트를 통해 상기 이동 플랫폼에 결합된 링크;를 포함하는, 순응 기구부; 를 포함하는 순응 장치.

제 1 항에 있어서,상기 이동 플랫폼 상에 탑재되고, 작업 공구를 Z축 방향으로 이동시키도록 선형 액츄에이터;상기 선형 액츄에이터에 연결되고 상기 선형 액츄에이터에 의해 상기 Z축 방향으로 이동하도록 구성된 이동 플레이트; 및상기 이동 플레이트 상에 장착되고, 상기 작업 공구를 상기 Z축 방향을 기준으로 회전시키도록 구성된 회전 액츄에이터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 순응 장치.

제 1 항에 있어서,상기 복수의 단위 순응 기구부의 탄성 변형량을 감지하여, 상기 이동 플랫폼의 상기 이동원점에 작용하는 X축 방향으로의 힘, Y축 방향으로의 힘, X축 방향을 회전 중심으로 하는 모멘트, 및 Y축 방향을 회전 중심으로 하는 모멘트를 검출하도록 구성된 힘/모멘트 센싱부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 순응 장치.

제 1 항에 있어서,상기 복수의 단위 순응 기구부 각각에서,상기 제1 볼 조인트와 상기 제2 볼 조인트 사이의 직선 거리는 가변하도록 구성된 것을 특징으로 하는 순응 장치.

제 1 항에 있어서,상기 고정 플랫폼과 상기 이동 플랫폼 사이에 배치되고, 상기 이동 플랫폼의 Z축 방향을 기준으로 하는 회전을 제한하도록 구성된 이중 유니버셜 조인트;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 순응 장치.

제 5 항에 있어서,상기 이중 유니버셜 조인트는,상기 고정 플랫폼에 고정된 하부 블록;상기 이동 플랫폼에 고정된 상부 블록; 및하부 십자축을 통해 상기 하부 블록에 연결되고, 상부 십자축을 통해 상기 상부 블록에 연결된 중간 블록;을 포함하고,상기 하부 십자축 및 상기 상부 십자축은 각각 X축 방향에 평행한 회전축 및 Y축 방향에 평행한 회전축을 가지는 것을 특징으로 하는 순응 장치.

제 6 항에 있어서,상기 고정 플랫폼은,상기 하부 블록에 결합된 베이스 플레이트; 및상기 베이스 플레이트 상에 배치되고, 상기 복수의 단위 순응 기구부 각각의 상기 외팔보 구조물이 결합되는 복수의 수직 측벽;을 포함하고,상기 이동 플랫폼은,중심 플레이트; 및상기 중심 플레이트의 서로 다른 측부로부터 상기 베이스 플레이트를 향해 연장된 복수의 레그부;를 포함하고,상기 복수의 레그부 각각은 상기 복수의 단위 순응 기구부 중 대응된 단위 순응 기구부에 연결된 것을 특징으로 하는 순응 장치.

제 1 항에 있어서,상기 이동 플랫폼에 결합된 제1 스프링 지지대;상기 고정 플랫폼에 결합된 제2 스프링 지지대; 및상기 제1 스프링 지지대에 연결된 일 단부 및 상기 제2 스프링 지지대에 연결된 타 단부를 가지고, 상기 이동 플랫폼에 복원력을 제공하는 인장 스프링;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 순응 장치.

로봇 암;로봇 암의 끝단에 탑재된 순응 장치; 및상기 순응 장치에 연결되고, 작업물을 홀딩하도록 구성된 작업 공구;를 포함하고,상기 순응 장치는,X-Y-Z의 3축으로 된 고정좌표계의 고정원점이 정의되는 고정 플랫폼;상기 고정 플랫폼에 대해 이동하도록 구성되고, x-y-z의 3축으로 된 이동좌표계의 이동원점이 정의되는 이동 플랫폼;상기 고정 플랫폼에 대해 상기 이동 플랫폼을 탄성 지지하도록 구성된 복수의 단위 순응 기구부를 포함하고, 상기 복수의 단위 순응 기구부는 각각, 상기 고정 플랫폼에 고정된 제1 단부 및 상기 제1 단부에 반대된 제2 단부를 포함하는 외팔보 구조물; 및 제1 볼 조인트를 통해 상기 외팔보 구조물의 상기 제2 단부에 결합되고 제2 볼 조인트를 통해 상기 이동 플랫폼에 결합된 링크;를 포함하는, 순응 기구부;상기 이동 플랫폼 상에 탑재되고, 작업 공구를 Z축 방향으로 이동시키도록 선형 액츄에이터;상기 선형 액츄에이터에 연결되고 상기 선형 액츄에이터에 의해 상기 Z축 방향으로 이동하도록 구성된 이동 플레이트; 및상기 이동 플레이트 상에 장착되고, 상기 작업 공구를 상기 Z축 방향을 기준으로 회전시키도록 구성된 회전 액츄에이터;를 포함하는 작업 로봇.

X-Y-Z의 3축으로 된 고정좌표계의 고정원점이 정의되는 고정 플랫폼;상기 고정 플랫폼에 대해 이동하도록 구성되고, x-y-z의 3축으로 된 이동좌표계의 이동원점이 정의되는 이동 플랫폼;상기 고정 플랫폼에 대해 상기 이동 플랫폼을 탄성 지지하도록 구성된 복수의 단위 순응 기구부를 포함하고, 상기 복수의 단위 순응 기구부는 각각, 상기 고정 플랫폼에 고정된 제1 단부 및 상기 제1 단부에 반대된 제2 단부를 포함하는 외팔보 구조물; 및 제1 볼 조인트를 통해 상기 외팔보 구조물의 상기 제2 단부에 결합되고 제2 볼 조인트를 통해 상기 이동 플랫폼에 결합된 링크;를 포함하는, 순응 기구부;상기 이동 플랫폼 상에 탑재되고, 작업 공구를 Z축 방향으로 이동시키도록 선형 액츄에이터;상기 선형 액츄에이터에 연결되고 상기 선형 액츄에이터에 의해 상기 Z축 방향으로 이동하도록 구성된 이동 플레이트;상기 이동 플레이트 상에 장착되고, 상기 작업 공구를 상기 Z축 방향을 기준으로 회전시키도록 구성된 회전 액츄에이터;상기 복수의 단위 순응 기구부의 탄성 변형량을 감지하도록 구성된 센서들을 포함하고, 상기 이동 플랫폼의 상기 이동원점에 작용하는 X축 방향으로의 힘, Y축 방향으로의 힘, X축 방향을 회전 중심으로 하는 모멘트, 및 Y축 방향을 회전 중심으로 하는 모멘트를 검출하도록 구성된 힘/모멘트 센싱부;상기 고정 플랫폼과 상기 이동 플랫폼 사이에 배치되고, 상기 이동 플랫폼의 상기 Z축 방향을 기준으로 하는 회전을 제한하도록 구성된 이중 유니버셜 조인트; 및상기 이동 플랫폼에 결합된 제1 스프링 지지대, 상기 고정 플랫폼에 결합된 제2 스프링 지지대, 및 상기 제1 스프링 지지대와 상기 제2 스프링 지지대에 연결된 인장 스프링을 포함하는 중력 보상 기구부;를 포함하고, 상기 복수의 단위 순응 기구부 각각에서, 상기 제1 볼 조인트와 상기 제2 볼 조인트 사이의 직선 거리는 가변하도록 구성된 순응 장치.