반도체 제조에서의 물류 자동화 시스템을 위한 동적 할당 장치, 및 그것을 이용하는 물류 자동화 시스템
DYNAMIC DISPATCHING APPARATUS FOR AUTOMATED MATERIAL HANDLING SYSTEM IN SEMICONDUCTOR MANUFACTORING, AND AUTOMATED MATERIAL HANDLING SYSTEM USING THE SAME
특허 요약
본 발명의 실시 예에 따른 물류 자동화 시스템은 제 1 및 제 2 웨이퍼 로트들을 생산하는 제 1 설비, 제 2 설비, 및 제 1 및 제 2 저장소들을 포함하는 반도체 제조 시설로부터 제 1 제조 환경 상태 데이터를 수집하고 그리고 제 1 제조 환경 상태 데이터에 기초하여 제 1 시간 구간에 제 1 할당 규칙을 정합시키고 그리고 제 2 시간 구간에 제 2 할당 규칙을 정합시키는 할당 모델을 호출하는 최적 규칙 예측 모듈, 할당 모델에 기초하여, 제 1 할당 규칙에 따라 제 1 시간 구간에서 제 1 저장소를 선택하고, 제 2 할당 규칙에 따라 제 2 시간 구간에서 제 2 저장소를 선택하고, 그리고 선택 결과를 포함하는 저장소 선택 정보를 생성하는 저장소 선택 모듈, 및 저장소 선택 정보에 따라 제 1 웨이퍼 로트를 제 1 설비에서 제 1 저장소를 경유하여 제 2 설비로 이동시키고 그리고 제 2 웨이퍼 로트를 제 1 설비에서 제 2 저장소를 경유하여 제 2 설비로 이동시키는 OHT 모듈을 포함할 수 있다.
청구항
번호청구항
1

제 1 및 제 2 웨이퍼 로트들을 생산하는 제 1 설비, 제 2 설비, 및 제 1 및 제 2 저장소들을 포함하는 반도체 제조 시설로부터 제 1 제조 환경 상태 데이터를 수집하고 그리고 상기 제 1 제조 환경 상태 데이터에 기초하여 제 1 시간 구간에 제 1 할당 규칙을 정합시키고 그리고 제 2 시간 구간에 제 2 할당 규칙을 정합시키는 할당 모델을 호출하는 최적 규칙 예측 모듈;상기 할당 모델에 기초하여, 상기 제 1 할당 규칙에 따라 상기 제 1 시간 구간에서 상기 제 1 저장소를 선택하고, 상기 제 2 할당 규칙에 따라 상기 제 2 시간 구간에서 상기 제 2 저장소를 선택하고, 그리고 선택 결과를 포함하는 저장소 선택 정보를 생성하는 저장소 선택 모듈; 및상기 저장소 선택 정보에 따라 상기 제 1 웨이퍼 로트를 상기 제 1 설비에서 상기 제 1 저장소를 경유하여 상기 제 2 설비로 이동시키고 그리고 상기 제 2 웨이퍼 로트를 상기 제 1 설비에서 상기 제 2 저장소를 경유하여 상기 제 2 설비로 이동시키는 OHT(overhead hoist transport) 모듈을 포함하되,상기 제 1 저장소는 상기 제 1 설비보다 상기 제 2 설비에 더 가까이 위치하고, 그리고상기 제 2 저장소는 상기 제 2 설비보다 상기 제 1 설비에 더 가까이 위치하는 물류 자동화 시스템.