본 발명의 일 구체예에 의한 박막 바이오 밸브 장치 및 박막 바이오 밸브 제어 장치는 랩온어칩, 단백질칩 또는 DNA칩과 같은, 유체 내 소량의 물질을 진단 및/또는 탐지하는 박막형 장치의 밸브 구성에 효율적으로 적용가능하다.