특허 요약
본 발명은 레이저 다이오드와 그 제조방법을 개시한다. 본 발명 레이저 다이오드는, 활성층이 횡 방향으로 단차가 형성되어 경사면상에서는 100 면 보다 밴드갭이 다소 커지는 효과에 의해 횡방향의 제한성을 향상시키고, 발진개시 전류의 저감화와 레이저빔 특성을 향상시킬 수 있으며, 그 방법에 있어서는 선택적 성장시 제1크래드층 리지의 상면과 경사면에 보호버퍼층을 얇게 성장한 상태에서 마스크를 제거함으로 제1크래드층의 공기중 노출에 의한 산화에 의해 재성장 계면특성이 나빠지는 것을 방지할 수 있고, 또한, 식각이 아닌 성장에 의해 소자의 주요 치수가 결정됨으로 각종 매개변수를 정확히 제어하여 재현성 있는 특성의 소자를 얻을 수 있다.