특허 요약
본 발명은 레이저 다이오드와 그 제조방법을 개시한다. 본 발명 레이저 다이오드는, p + -p-n의 가로방향 pn접합이 형성된 경사면을 갖는 하부크래드층과 활성층 및 상부크래드층이 마련되고, 상기 활성층의 경사면에 레이저 빔 발광영역이 형성되며, 그 방법에 있어서는, 경사면이 마련된 기판상에 상기 하부크래드층, 활성층, 상부크래드층을 상기 기판의 경사면에 대응한 경사면이 형성되도록 순차적으로 적층하고, 유전체 필름을 상기 상부크래드층 상부에 증착시켜 아연확산용 개구를 형성하고, 상기 개구를 통해 소정의 아연확산을 수행하고, 상기 아연확산에 의해 p + -p-n의 가로방향 pn접합을 형성하여 TJS형 레이저 다이오드을 완성한다. 이로써, 레이저빔을 효율적으로 제한할 수 있고, 레이저빔의 단파장화 및 출력을 향상시킬 수 있다.