| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 제1항에 있어서,상기 인렛가스의 평균유량은 0.1 ㎥/h 내지 50000 ㎥/h이고,상기 인렛가스 중 포함된 불순물의 농도는 0.001 ppm 내지 25 ppm인 것인 가스정제장치 교체주기 제어시스템. |
| 1 | 제1항에 있어서,상기 가스정제장치는 산소 (O2), 수증기 (H2O), 일산화탄소 (CO), 이산화탄소 (CO2), 수소 (H2) 중 포함된 불순물을 제거하는 것인 가스정제장치 교체주기 제어시스템. |
| 1 | 제2항에 있어서,상기 아웃렛가스에서 상기 제1 인렛부 (110)로 전달되는 가스는 2 vol% 내지 20 vol%인 것인 가스정제장치 교체주기 제어시스템. |
| 1 | 제1항에 있어서,상기 식 1에서, 상기 가스정제장치로 유입되는 인렛가스의 평균유량 (Qin)과 상기 인렛가스 중 포함된 불순물의 농도 (Cin)는 상기 가스정제장치로 유입되는 가스를 실시간 측정하여 얻어지는 것인 가스정제장치 교체주기 제어시스템. |
| 1 | 복수개의 가스정제장치에 구비되어 사용된 가스정제장치의 사용수명을 제어하는 하기 식 1에 따른 가스정제장치 교체주기 제어시스템:(식 1) (Qin * Cin * LT) * M = A식 1에서, Qin은 가스정제장치로 유입되는 인렛가스의 평균유량이고, Cin은 상기 인렛가스 중 포함된 불순물의 농도이고, LT는 가스정제장치의 사용수명이고, A는 가스정제장치의 설계수명이고, M은 70% 내지 100%이다. |
| 1 | 제1항에 있어서,상기 복수개의 가스정제장치는 사용 중인 가스정제장치인 제1 정제베셀 (vessel) (100)와, 사용 전인 가스정제장치인 제2 정제베셀 (200)를 포함하고,상기 제1 정제베셀 (100)가 상기 식 1에 따라 사용수명이 종료되면 상기 제2 정제베셀 (200)가 운전을 시작하는 가스정제장치 교체주기 제어시스템. |
| 1 | 제2항에 있어서,상기 제1 정제베셀 (100)는 가스가 유입되는 제1 인렛부 (110)와, 가스가 배출되는 제1 아웃렛부 (120)를 포함하고,상기 제2 정제베셀 (200)는 가스가 유입되는 제2 인렛부 (210)와, 가스가 배출되는 제2 아웃렛부 (220)를 포함하고,상기 제2 정제베셀 (200)가 운전을 시작하면, 상기 제1 인렛부 (110)에 인접하게 구비되는 밸브가 오프 (off)되고, 상기 제2 인렛부 (210)에 인접하게 구비되는 밸브는 온 (on)되고, 상기 제2 아웃렛부 (210)에서 배출되는 아웃렛가스의 일부는 상기 제1 인렛부 (110)를 통하여 상기 제1 정제베셀 (100)로 전달되고, 다른 일부는 정제가스 보관탱크 (300)로 전달되는 것인 가스정제장치 교체주기 제어시스템. |
| 1 | 사용 중인 가스정제장치인 제1 정제베셀과, 사용 전인 가스정제장치인 제2 정제베셀을 포함하고, 상기 제1 정제베셀과 상기 제1 정제베셀의 교체주기를 제어하는 방법으로,상기 제1 정제베셀로 유입되는 인렛가스의 유량과 상기 인렛가스 중 포함된 불순물을 측정하여 제어부로 전달하는 단계; 및상기 제어부는 기입력된 제1 정제베셀의 설계수명과, 상기 인렛가스의 유량과 상기 인렛가스 중 포함된 불순물에 의하여 계산된 사용수명을 비교하여 상기 제1 정제베셀의 인렛가스가 유입되는 통로에 구비된 밸브의 온-오프와 상기 제2 정제베셀의 인렛가스가 유입되는 통로에 구비된 밸브의 온-오프를 제어하는 단계;를 포함하는 가스정제장치 교체주기 제어방법. |
| 1 | 제1항에 있어서,상기 가스정제장치는 사용수명을 보다 정확하게 예측하기 위해 하기 식 2에 의하여 실시간으로 측정된 가스 유량(Qin) 및 불순물 농도(Cin)뿐만 아니라, 운전 환경 변수(온도, 압력 등)를 추가적으로 반영하여 보정 계수(K)를 적용하되, 상기 보정 계수(K)는 온도에 따른 보정 계수 KT, 압력에 따른 보정 계수 KP, 습도에 따른 보정 계수 KH인 가스정제장치 교체주기 제어시스템.(식 2) (Qin * Cin * LT * K) * M = A |
| 1 | 제9항에 있어서,상기 보정 계수(K, KT, KP, KH)는 하기의 값을 만족하는 범위인 가스정제장치 교체주기 제어시스템.(1) 온도범위 0 |
| 1 | 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 가스정제장치는 복수개의 정제베셀을 포함하고, 상기 복수개의 정제베셀은 1차 정제 및 2차 정제를 거치는 다단계 정제 시스템으로 운전되며, 특정 정제베셀의 성능이 저하될 경우 가스 흐름을 자동으로 재조정하는 가스정제장치 교체주기 제어시스템. |
| 1 | 제10항에 있어서,상기 보정 계수는 가스유속, 가스조성, 흡착제의 유형 및 상태, 가스의 압축성, 운전시간 및 주기, 흡착제의 노화 계수, 불순물의 흡착 난이도 계수, 장비 진동 및 충격 계수, 전기적 영향 계수의 적어도 하나 이상을 추가적으로 고려한 보정계수를 적용하는 가스정제장치 교체주기 제어시스템. |
