(주)대진트라텍
세정액 공급 모듈
MODULE FOR SUPPLYING CLEANING LIQUID
특허 요약
본 발명은 평판 디스플레이 세정 장치에 사용되는 세정액 분사 모듈에 관한 것으로서, 노즐공을 형성하기 위해 노즐 파이프 외주면을 용이하게 드릴 가공할 수 있고, 탈부착이 용이한 세정액 분사 모듈을 제공하여 세정액 분사 모듈의 교체시 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있도록 한다.
청구항
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 | 삭제 |
| 1 | 세정액이 흐르는 공간을 제공하는 메인 파이프; 및상기 메인 파이프와 노즐 파이프를 연결하는 연결 유닛을 포함하고,상기 노즐 파이프는, 일단부가 상기 연결 유닛에 연결되어 상기 메인 파이프로부터 상기 세정액을 공급받아 기판으로 상기 세정액을 공급하고, 타단부는 밀폐되며, 상기 기판 배치 방향으로 복수의 노즐공이 마련된 평탄부를 포함하며,상기 연결 유닛은,내주면에 적어도 하나의 돌출부에 의해 형성된 결합홈을 갖는 암유닛 및 상기 결합홈에 삽입되어 회전 체결되는 결합돌기를 갖는 수유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급 모듈. |
| 1 | 제 1항에 있어서,상기 수유닛의 결합돌기 단부에서 길이 방향으로 연장된 제 1회전방지면을 형성하고,상기 결합돌기의 회전체결시 상기 제 1회전방지면에 맞닿도록 상기 암유닛의 돌출부 단부에서 내주 방향으로 연장된 제 2회전방지면을 형성하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급 모듈. |
