| 번호 | 청구항 |
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| 10 | 제4항에 있어서,상기 열처리는 1100℃ 내지 1400℃에서 수행되는 맥스 전구체의 제조방법. |
| 9 | 제4항에 있어서,상기 탄소공급원은 그래파이트 분말을 포함하며,상기 밀링에 의해 상기 그래파이트 분말은 비정질화되는 제조방법. |
| 1 | 맥스 전구체의 제조방법에 있어서,질소공급원 및 탄소공급원 중 적어도 어느 하나와 저급금속산화물의 혼합물에 물리적 힘을 가하는 단계;상기 혼합물을 열처리하여 금속질화물 또는 금속탄화물을 마련하는 단계; 및상기 금속질화물 또는 금속탄화물을 알루미늄 또는 실리콘과 합성하여 맥스 전구체를 제조하는 단계를 포함하며,상기 물리적 힘은 밀링을 통해 가해지는 맥스 전구체의 제조방법. |
| 2 | 삭제 |
| 3 | 제1항에 있어서,상기 밀링을 통해 상기 혼합물이 파쇄되어 상기 혼합물의 표면적이 증가하는 맥스 전구체의 제조방법. |
| 4 | 제1항에 있어서,상기 밀링에 의해,상기 탄소공급원의 결정립 크기는 3nm 내지 50nm로 감소하며,상기 저급금속산화물의 결정립 크기는 3 내지 50nm로 감소하는 제조방법. |
| 5 | 제4항에 있어서,상기 밀링에 의해,상기 탄소공급원의 결정립 크기는 5nm 내지 30nm로 감소하며,상기 저급금속산화물의 결정립 크기는 5nm 내지 30nm로 감소하는 제조방법. |
| 6 | 제4항에 있어서,상기 금속질화물 또는 상기 금속탄화물의 결정립 크기는 20nm 내지 60nm인 제조방법. |
| 7 | 제6항에 있어서,상기 금속질화물 또는 금속탄화물의 산소함량은 0.1 내지 1.0중량%인 제조방법. |
| 8 | 제7항에 있어서,상기 맥스 전구체의 산소함량은 0.1 내지 1.2중량%인 제조방법. |
| 11 | 맥신의 제조방법에 있어서,제1항 및 제3항 내지 제10항 중 어느 한 방법에 따라 제조된 맥스 전구체를 산 기반의 용액에 반응시켜 맥신을 제조하는 단계를 더 포함하는 제조방법. |
| 12 | 제11항에 있어서,상기 산기반의 용액은 불산(HF), LiHF2, NaHF2, KHF2, 불소화리튬(LiF), 불화나트륨(NaF), 불화마그네슘(MgF2), 불화스트론튬(SrF2), 불화베릴륨(BeF2), 불화칼슘(CaF2), 불화암모늄(NH4F), 이불화암모늄(NH4HF2), 암모늄 헥사플루오로알루미네이트((NH4)3AlF6) 중에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함하는 맥신의 제조방법. |
