| 번호 | 청구항 |
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| 6 | (a) 제1 혼합용액으로서, IPA 용매에 소정 범위에서 Trifluoropropyltrimethoxysilane(TFPTMS)를 첨가하고 소정시간 동안 교반하는 단계와, (b) 제2 혼합용액으로서, 증류수에 소정 범위에서 K2CO3를 첨가하고 소정시간 동안 교반하는 단계와,(c) 상기 제2 혼합용액을 상기 제1 혼합용액에 투입하고 균일하게 혼합되도록 소정시간 교반하는 단계와,(d) 상기 (c)단계에서 혼합용액을 소정시간 에이징하고 티캔테이션 및 세척하여 수지형태의 폴리실세스퀴옥산을 합성하는 단계와,(e) 불소용매에 상기 (d) 단계에서 합성된 폴리실세스퀴옥산를 중량비로 1% 이상 1.5% 이하 범위에서 첨가하여 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방오코팅액 제조방법. |
| 7 | 제6항에 있어서,상기 불소용매는 C6OH5F9 분자구조를 가진 불소용매인 것을 특징으로 하는 방오코팅액 제조방법. |
| 8 | 제6항에 있어서,상기 (e) 단계에서, 상기 코팅 전에 1wt% 염산 수용액을 제조하고 제조된 염산 수용액에 피코팅물질을 넣고 소정시간 초음파세척을 진행한 후, IPA 또는 에탄올을 사용하여 상기 피코팅물질 위의 잔여 염산을 세척하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방오코팅액 제조방법. |
| 9 | 제6항에 있어서,상기 (e) 단계에서, 제조된 방오코팅액을 플로우 코팅방식으로 피코팅 물질 위애 흘려준 다음, 소정 온도에서 소정시간 건조하여 코팅하는 것을 특징으로 하는 방오코팅액 제조방법. |
| 10 | 제6항에 있어서,상기 (a) 단계에서 첨가하는 상기 TFTPTMS의 몰농도는 1M ~ 3.5M 범위인 것을 특징으로 하는 방오코팅액 제조방법. |
| 11 | 제9항에 있어서,상기 (a) 단계에서, 상기 IPA 용매 500ml에 상기 TFPTMS를 100g을 첨가하고 30분간 교반하는 것을 특징으로 하는 방오코팅액 제조방법. |
| 12 | 제6항에 있어서,상기 (b) 단계에서, 상기 증류수와 K2CO3를 각각 11mL 와 0.12 g을 투입 후 상기 K2CO3 촉매가 완전히 용해되는 시간동안 교반하는 것을 특징으로 하는 방오코팅액 제조방법. |
| 13 | 제6항에 있어서,상기 (c) 단계에서, 상기 증류수와 TFPTMS은 mol 비율이 1:2인 것을 특징으로 하는 방오코팅액 제조방법. |
| 14 | 제6항의 방오코팅액 제조방법에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 방오코팅액. |
