| 번호 | 청구항 |
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| 6 | 청구항 1에 있어서,상기 나노구조체 중 돌기부는,그 수평 단면이 다각형의 형상을 이루는 바이오센서용 전극 제조방법. |
| 7 | 청구항 1에 있어서,상기 나노구조체 중 돌기부는,그 수평 단면이 원형의 형상을 이루는 바이오센서용 전극 제조방법. |
| 8 | 청구항 1에 있어서,상기 나노구조체는,상기 기주부를 중심으로 4방향으로 돌기부가 형성되어, 수평 단면이 '+' 형상을 이루는 바이오센서용 전극 제조방법. |
| 1 | a)직립되어 형성되는 기주부와, 상기 기주부의 외주에 형성되며 방사 형상으로 돌출되는 돌기부가 포함된 나노구조체들이 표면에 패턴을 이루는 전극베이스를 준비하는 단계;b)준비된 전극베이스의 표면을 플라즈마로 산화 처리하는 단계; 및c)전극베이스에 도금막을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 b)단계인 준비된 전극베이스의 표면을 플라즈마로 산화 처리하는 단계를 실시 후,b-1)단계로, 경화된 전극베이스를 스트레칭시켜, 전극베이스 표면 및 나노구조체에 크랙을 형성하는 단계를 포함하는 바이오센서용 전극 제조방법. |
| 2 | 청구항 1에 있어서,상기 a)단계인 기주부와, 돌기부가 포함된 나노구조체들이 표면에 패턴을 이루는 전극베이스를 준비하는 단계는,a-1)해당 바이오센서용 전극 형상의 몰드를 준비하는 단계와;a-2)준비된 몰드의 표면에 광경화수지를 도포하는 단계와;a-3)몰드에 도포된 광경화수지에 UV광 조사로 광경화수지를 경화시키는 단계와;a-4)상기 광경화수지의 경화로 이루어진 전극베이스를 몰드에서 분리하는 단계;를 포함하는 바이오센서용 전극 제조방법. |
| 3 | 청구항 1에 있어서,상기 a)단계인 기주부와, 돌기부가 포함된 나노구조체들이 표면에 패턴을 이루는 전극베이스를 준비하는 단계는,a-1)해당 바이오센서용 전극 형상의 몰드를 준비하는 단계와;a-2)준비된 몰드의 표면에 경화제가 혼합된 PDMS를 도포하는 단계와;a-3)몰드에 도포된 경화제가 혼합된 PDMS에 해당 온도의 열을 가하여 PDMS를 경화시키는 단계와;a-4)상기 PDMS의 경화로 이루어진 전극베이스를 몰드에서 분리하는 단계;를 포함하는 바이오센서용 전극 제조방법. |
| 4 | 청구항 2 및 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,상기 a-1)단계인 해당 바이오센서용 전극 형상의 몰드를 준비하는 단계에서,상기 몰드는,전극베이스 표면에 패턴으로 형성되는 나노구조체들의 형상에 대응하는 음각 홈들이 형성되는 바이오센서용 전극 제조방법. |
| 5 | 청구항 1에 있어서,상기 나노구조체 중 돌기부는,그 수평 단면이 부채꼴 형상을 이루는 바이오센서용 전극 제조방법. |
| 9 | 청구항 2에 있어서,상기 a-2)단계인 준비된 몰드의 표면에 광경화수지를 도포하는 단계는,상기 몰드의 표면에 광경화수지를 도포한 후, 도포된 광경화수지 상면에 베이스필름을 적층하는 것을 더 포함하는 바이오센서용 전극 제조방법. |
| 10 | 삭제 |
| 11 | 청구항 1에 있어서,상기 c)단계인 전극베이스에 도금막을 형성하는 단계에서 도금막은,금(Au) 또는 티타늄(Ti) 중 어느 하나의 금속으로 도금막을 형성하는 바이오센서용 전극 제조방법. |
| 12 | 청구항 1에 있어서,상기 c)단계인 전극베이스에 도금막을 형성하는 단계를 실시 후,d)단계로, 상기 전극베이스에 형성된 도금막에 POM-ppy(polyoxometalate-doped polypyrrole(폴리옥소메탈레이트-폴리피롤)) 입자를 형성하는 단계를 포함하는 바이오센서용 전극 제조방법. |
| 13 | 판 상의 전극베이스;상기 전극베이스의 표면에 직립되어 형성되는 복수 개의 기주부와, 상기 기주부 각각의 외주에서 방사 형상으로 돌출 형성되는 돌기부를 포함하는 나노구조체들; 및상기 전극베이스 및 나노구조체들의 표면에 형성되는 도금막을 포함하고,상기 전극베이스의 표면 및 나노구조체들의 표면에 크랙을 형성하는 바이오센서용 전극. |
| 14 | 청구항 13에 있어서,상기 나노구조체 중 돌기부는,그 수평 단면이 부채꼴 형상을 이루는 바이오센서용 전극. |
| 15 | 청구항 13에 있어서,상기 나노구조체 중 돌기부는,그 수평 단면이 다각형의 형상을 이루는 바이오센서용 전극. |
| 16 | 청구항 13에 있어서,상기 나노구조체 중 돌기부는,그 수평 단면이 원형의 형상을 이루는 바이오센서용 전극. |
| 17 | 청구항 13에 있어서,상기 나노구조체는,상기 기주부를 중심으로 4방향으로 돌기부가 형성되어, 수평 단면이 '+' 형상을 이루는 바이오센서용 전극. |
| 18 | 삭제 |
| 19 | 청구항 13에 있어서,상기 도금막은,금(Au) 또는 티타늄(Ti) 중 어느 하나의 금속으로 형성하는 바이오센서용 전극. |
| 20 | 청구항 13에 있어서,상기 도금막의 표면에는,항체의 연결체로 POM-ppy(polyoxometalate-doped polypyrrole(폴리옥소메탈레이트-폴리피롤)) 입자를 더 형성하는 바이오센서용 전극. |
