베이스 기판, 상기 베이스 기판의 상면 외곽에 형성된 제1가이드부 및 상기 제1가이드부에 의해 형성된 공간 내부에 배치되고 상기 제1가이드부 보다 낮은 높이로 이루어진 제2가이드부를 포함하는 지지체;상기 제1가이드부 상에 배치되고, 흡착 소재가 거치되는 상부 전극;상기 제2가이드부 상에 배치되고, 상기 상부 전극과 적어도 일부가 중첩되는 하부 전극; 및상기 흡착 소재에 대한 흡착 또는 탈착 반응 수행 시 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극 사이의 정전용량 변화를 측정하여 무게로 변환하는 제어부를 포함하고,상기 상부 전극은 상기 제1가이드부 상에 배치되는 외곽 전극, 상기 외곽 전극과 연결되고 상기 제2가이드부 방향으로 연장된 복수의 줄기 전극, 및 상기 줄기 전극과 연결되고 상기 흡착 소재가 거치되는 측정 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는, 정전용량 기반 무게 측정장치.

청구항 1에 있어서,상기 베이스 기판의 단면 형상은 원형인 것을 특징으로 하는 정전용량 기반 무게 측정장치.

청구항 2에 있어서,상기 제1가이드부 평면 형상은 원형 링이고, 상기 제2가이드부의 평면 형상은 원형인 것을 특징으로 하는 정전용량 기반 무게 측정장치.

청구항 1에 있어서,상기 지지체는 상기 베이스 기판, 상기 제1가이드부 및 상기 제2가이드부가 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 정전용량 기반 무게 측정장치.

청구항 1에 있어서,상기 지지체는 상기 베이스 기판에 상기 제2가이드부를 고정하는 체결부재를 더 포함하고,상기 제2가이드부는 상기 베이스 기판의 상하방향으로 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 정전용량 기반 무게 측정장치.

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청구항 1에 있어서,상기 외곽 전극의 평면 형상은 원형 링이고, 상기 측정 전극의 평면 형상은 원형인 것을 특징으로 하는 정전용량 기반 무게 측정장치.

청구항 7에 있어서,상기 줄기 전극은 상기 측정 전극의 중심부에 대하여 방사상으로 서로 이격 배치되는 것을 특징으로 하는 정전용량 기반 무게 측정장치.

청구항 1에 있어서,상기 하부 전극은 상기 측정 전극과 적어도 일부가 중첩되는 것을 특징으로 하는 정전용량 기반 무게 측정장치.

청구항 1에 있어서,상기 상부 전극은 내부 전극을 더 포함하고,상기 줄기 전극은 복수의 제1줄기 전극과 복수의 제2줄기 전극으로 구성되며,상기 제1줄기 전극은 상기 외곽 전극과 연결되고 상기 제2가이드부 방향으로 연장되고,상기 내부 전극은 상기 제1줄기 전극과 연결되고 상기 외곽 전극과 동일한 형태를 가지며,상기 제2줄기 전극은 상기 내부 전극과 연결되고 상기 제2가이드부 방향으로 연장되고,상기 측정 전극은 상기 제2줄기 전극과 연결되는 것을 특징으로 하는 정전용량 기반 무게 측정장치.

청구항 10에 있어서,상기 외곽 전극 및 상기 내부 전극의 평면 형상은 원형 링이고, 상기 측정 전극의 평면 형상은 원형인 것을 특징으로 하는 정전용량 기반 무게 측정장치.

청구항 11에 있어서,상기 제1줄기 전극 및 상기 제2줄기 전극은 상기 측정 전극의 중심부에 대하여 방사상으로 이격 배치된 것을 특징으로 하는 정전용량 기반 무게 측정장치.

청구항 11에 있어서,상기 제1줄기 전극 및 상기 제2줄기 전극은 상기 측정 전극의 중심부에 대하여 서로 직교하는 방향으로 배치된 것을 특징으로 하는 정전용량 기반 무게 측정장치.

청구항 10에 있어서,상기 하부 전극은 상기 측정 전극과 적어도 일부가 중첩되는 것을 특징으로 하는 정전용량 기반 무게 측정장치.

흡착 소재에 대한 흡착 또는 탈착 반응이 수행되는 흡탈착 반응기로서,내부 공간을 구비하는 하우징;상기 하우징에 가스를 공급하는 가스공급부;상기 하우징의 내부 공간에 배치되는 청구항 1 내지 5 및 청구항 7 내지 14 중 어느 한 항에 기재된 정전용량 기반 무게 측정장치;상기 흡탈착 반응기와 연결되어 가스를 냉각시키는 응축기; 및상기 응축기와 연결되어 열을 흡수하는 증발기;를 포함하는 흡탈착 실험장치.

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