| 번호 | 청구항 |
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| 8 | 혼합 물질과 세척 대상물을 함께 수용하는 수납부; 및초음파를 생성하고, 상기 수납부에 수용된 상기 혼합 물질을 향해 상기 초음파를 방사하는 초음파 생성부;를 포함하고,상기 혼합 물질은 탄소나노튜브와 은 나노입자가 결합된 것이며,상기 초음파에 의해 상기 세척 대상물의 오물 물질은 상기 혼합 물질에 흡착되는 세척 장치. |
| 9 | 제8항에 있어서,상기 탄소나노튜브와 상기 은 나노입자는 밀(mill) 공정에 의해 혼합되는 세척 장치. |
| 10 | 제8항에 있어서,상기 은 나노입자는 밀(mill) 공정에 의해 평판 형태로 가공된 세척 장치. |
| 11 | 제8항에 있어서,상기 탄소나노튜브는 밀(mill) 공정에 의해 분쇄된 형태로 가공된 세척 장치. |