제1 항에 있어서,상기 스케일 유닛의 열팽창율은 상기 대상체의 열팽창율보다 작은, 열팽창 정도 측정 장치.

측정하고자 하는 대상체 상에 배치되는 바디부, 상기 바디부의 일방향을 따라 배열되며 입사되는 광에 대하여 서로 다른 공진주파수를 갖는 복수의 마이크로 캔틸레버를 구비하는 스케일 유닛;상기 스케일 유닛을 향하여 광을 조사하는 광원 유닛;상기 스케일 유닛으로부터 반사되는 광학 신호를 감지하는 디텍터 유닛; 및상기 감지된 광학 신호로부터 공진주파수 정보를 분석하고, 시간에 따른 상기 공진주파수 정보의 변화 정도를 이용하여 상기 대상체의 열팽창 정도를 측정하는 분석 유닛;을 구비하고,상기 분석 유닛은, 상기 복수의 마이크로 캔틸레버들 각각의 최대공진주파수 정보들이 사전에 저장되는, 열팽창 정도 측정 장치.

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제1 항에 있어서,상기 분석 유닛은,상기 대상체 상에 상기 스케일 유닛이 배치된 후, 제1 시점에서 측정된 제1 공진주파수 정보와 상기 제1 시점과 다른 제2 시점에서 측정된 제2 공진주파수 정보를 비교하여 상기 대상체의 열팽창 정도를 측정하는, 열팽창 정도 측정 장치.

제3 항에 있어서,상기 분석 유닛은,상기 제2 공진주파수 정보가 상기 제1 공진주파수 정보와 동일한 주파수를 갖는 경우 스펙트럼 신호의 크기 또는 스펙트럼 면적의 변화율 차이를 이용하여 상기 대상체의 열팽창 정도를 측정하는, 열팽창 정도 측정 장치.

제3 항에 있어서,상기 분석 유닛은,상기 제2 공진주파수 정보가 상기 제1 공진주파수 정보와 다른 주파수를 갖는 경우 상기 제2 공진주파수 정보와 상기 최대공진주파수 정보들을 비교하여 대응되는 공진주파수를 갖는 마이크로 캔틸레버를 추출하고, 상기 추출된 마이크로 캔틸레버의 위치정보를 이용하여 상기 대상체의 열팽창 정도를 측정하는, 열팽창 정도 측정 장치.

제1 항에 있어서,상기 스케일 유닛의 상기 바디부는 상기 대상체와 접촉하는 접촉면에 단열부재를 구비하는, 열팽창 정도 측정 장치.

제3 항에 있어서,상기 광원 유닛 및 상기 디텍터 유닛은 상기 제1 시점 및 상기 제2 시점에 대하여 동일한 위치에 배치되는, 열팽창 정도 측정 장치.

측정하고자 하는 대상체 상에 배치되는 바디부; 및상기 바디부의 일방향을 따라 배열되며 입사되는 광에 대하여 서로 다른 공진주파수를 갖는 복수의 마이크로 캔틸레버;를 구비하고,상기 바디부의 열팽창율은 상기 대상체의 열팽창율보다 작은, 스케일 유닛.

제9 항에 있어서,상기 바디부는 상기 대상체와 접촉하는 접촉면에 단열부재가 구비되는, 스케일 유닛.

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측정하고자 하는 대상체 상에 바디부와, 상기 바디부의 일방향을 따라 배열되며 입사되는 광에 대하여 서로 다른 공진주파수를 갖는 복수의 마이크로 캔틸레버를 구비하는 스케일 유닛을 측정하고자 하는 대상체 상에 안착시키는 단계;제1 시점에서 상기 복수의 마이크로 캔틸레버 중 기준 캔틸레버에 광을 조사하여 제1 공진주파수 정보를 획득하는 단계;상기 제1 시점과 다른 제2 시점에서 상기 스케일 유닛으로 광을 조사하여 제2 공진주파수 정보를 획득하는 단계; 및상기 제1 공진주파수 정보와 상기 제2 공진주파수 정보의 변화 정도를 이용하여 상기 대상체의 열팽창 정도를 측정하는 단계;를 포함하고,분석유닛에 상기 복수의 마이크로 캔틸레버들 각각의 최대공진주파수 정보들을 사전에 저장하는 단계;를 더 포함하는, 열팽창 정도 측정 방법.

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제12 항에 있어서,상기 대상체의 열팽창 정도를 측정하는 단계는,상기 제2 공진주파수 정보가 상기 제1 공진주파수 정보와 동일한 주파수를 갖는 경우 스펙트럼 신호의 크기 또는 스펙트럼 면적의 변화율 차이를 이용하여 상기 대상체의 열팽창 정도를 측정하는 단계인, 열팽창 정도 측정 방법.

제12 항에 있어서,상기 대상체의 열팽창 정도를 측정하는 단계는,상기 제2 공진주파수 정보가 상기 제1 공진주파수 정보와 다른 주파수를 갖는 경우 상기 제2 공진주파수 정보와 상기 최대공진주파수 정보들을 비교하여 대응되는 공진주파수를 갖는 마이크로 캔틸레버를 추출하고, 상기 추출된 마이크로 캔틸레버의 위치정보를 이용하여 상기 대상체의 열팽창 정도를 측정하는, 열팽창 정도 측정 방법.