| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 삭제 |
| 2 | 삭제 |
| 3 | 테라헤르츠파 집속 소자; 및상기 테라헤르츠파 집속 소자에 증착된 금 나노입자를 포함하며,상기 테라헤르츠파 집속 소자는 메타물질 기반 구조체 또는 나노 구조체이고상기 메타물질 기반 구조체는 기판; 상기 기판의 상부에 형성된 유전율이 낮은 BCB(benzocyclobutane)로 이루어진 도포층; 상기 도포층 상부에 형성된 패턴을 포함하고, 상기 금 나노입자는 상기 패턴 영역에만 증착되고,상기 패턴 영역은 적어도 2 이상의 갭을 포함하고,상기 패턴 영역은 비대칭 형상을 갖는 것을 특징으로 하는,테라헤르츠 대역 센서. |
| 4 | 테라헤르츠파 집속 소자; 및상기 테라헤르츠파 집속 소자에 증착된 금 나노입자를 포함하며,상기 테라헤르츠파 집속 소자는 메타물질 기반 구조체 또는 나노구조체이고상기 메타물질 기반 구조체는 기판; 상기 기판의 상부에 형성된 유전율이 낮은 BCB(benzocyclobutane)로 이루어진 도포층; 상기 도포층 상부에 형성된 패턴을 포함하고,상기 금 나노입자는 상기 패턴 영역을 제외한 상기 기판 영역에만 증착되고,상기 패턴 영역은 적어도 2 이상의 갭을 포함하고,상기 패턴 영역은 비대칭 형상을 갖는 것을 특징으로 하는,테라헤르츠 대역 센서. |
| 5 | 삭제 |
| 6 | 삭제 |
| 7 | 테라헤르츠파 집속 소자; 및상기 테라헤르츠파 집속 소자에 증착된 금 나노입자를 포함하며,상기 테라헤르츠파 집속 소자는 메타물질 기반 구조체 또는 나노구조체이고상기 메타물질 기반 구조체는 기판; 상기 기판의 상부에 형성된 유전율이 낮은 BCB(benzocyclobutane)로 이루어진 도포층; 상기 도포층 상부에 형성된 패턴을 포함하고,상기 금 나노입자는 상기 패턴 영역을 제외한 상기 도포층 영역에만 증착되고,상기 패턴 영역은 적어도 2 이상의 갭을 포함하고,상기 패턴 영역은 비대칭 형상을 갖는 것을 특징으로 하는,테라헤르츠 대역 센서. |
| 8 | 제 3 항, 제 4 항 및 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 금 나노입자는 금 나노입자 표면에 임의의 리간드를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 대역 센서. |
