제1 항에 있어서,전원부를 더 포함하고, 상기 제1 자석부 및 상기 제2 자석부는 각각 상기 전원부의 캐소드와 상기 제1 타겟 및 상기 제2 타겟 사이에 배치되고, 상기 전원부의 애노드는 접지되어 상기 기판 장착부에 연결된 것을 특징으로 하는 대향 타겟식 스퍼터링 장치.

제1 항에 있어서,상기 제1 자석부 및 상기 제2 자석부는 각각 상기 제1 타겟 및 상기 제2 타겟보다 작은 것을 특징으로 하는 대향 타겟식 스퍼터링 장치.

챔버;상기 챔버 내부에 배치되어, 피증착물을 장착하는 기판 장착부;상기 챔버 내부에 가스를 공급하는 가스 공급부;상기 챔버 내부에 배치되며, 각각이 제1 타겟 및 제2 타겟의 배면에 배치되는 제1 자석부와 제2 자석부; 및상기 챔버 내부의 가스를 배출시키는 진공펌프;를 포함하고,상기 제1 자석부와 상기 제2 자석부는 서로 반대의 극성이 마주하도록 배치되며, 각각 하나 이상의 자석들로 형성되며, 단부가 'I'자 형상을 갖거나 갖도록 배치되며, 'I'자 형상의 외곽을 감싸는 자석은 존재하지 않고,상기 기판 장착부는, 상기 제1 자석부 및 상기 제2 자석부가 마주보는 방향과 평행한 방향을 따라 왕복운동 할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 대향 타겟식 스퍼터링 장치

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제1 항에 있어서,상기 제1 자석부와 상기 제2 자석부를 각각 커버하는 제1 실드부와 제2 실드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대향 타겟식 스퍼터링 장치.