전기적으로 제어 가능한 광학 변조 소자
Electrically controllable optical modulation device
특허 요약
본 발명은 광학 변조 소자에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 탐 플라즈몬(Tamm plasmon) 구조를 갖는 것이며 이에 따라 전기적으로 제어 가능한 광학 변조 소자에 관한 것이다.
청구항
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 | 서로 상이한 절연체가 적층된 광 결정(photonic crystal) 구조체; 상기 광 결정 구조체 일면에 형성되는 광특성 변조 활성층; 및상기 광특성 변조 활성층 일면에 형성되는 다공성 반사층을 포함하며,상기 상이한 절연체는 Si3N4와 SiO2인 것이며상기 광 결정 구조체는 근적외선(NIR)을 흡수하는 것이며,광학 변조 소자. |
| 2 | 제1항에 있어서,상기 광 결정 구조체는 탐 플라즈몬(Tamm plasmon) 구조인 것인,광학 변조 소자. |
| 3 | 제1항에 있어서,상기 광 결정 구조체는 DBR(distributed Bragg reflector) 구조체를 포함하는 것인,광학 변조 소자. |
| 4 | 제3항에 있어서,상기 DBR 구조체는 제1 절연체층과 제2 절연체층이 적층되어 구성되는 DBR 단위층을 포함하는 것인,광학 변조 소자. |
| 5 | 제4항에 있어서,상기 제1 절연체층은 Si3N4인 것인,광학 변조 소자. |
| 6 | 제5항에 있어서,상기 제2 절연체층은 SiO2인 것인,광학 변조 소자. |
| 7 | 제4항에 있어서,상기 DBR 구조체는 상기 DBR 단위층이 1 내지 4개인 것인,광학 변조 소자. |
| 8 | 제3항에 있어서,상기 광 결정 구조체는 DRB 구조체 일면에 대하여 배치되는 제3 절연체층을 포함하는 것인,광학 변조 소자. |
| 9 | 제8항에 있어서,상기 제3 절연체층은 Si3N4인 것인,광학 변조 소자. |
| 10 | 제1항에 있어서,상기 광특성 변조 활성층은 PEDOT:PSS인 것인,광학 변조 소자. |
| 11 | 삭제 |
| 12 | 제1항에 있어서,상기 다공성 반사층은 금(Au) 멤브레인인 것인,광학 변조 소자. |
