| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 복수의 슬롯 및 상기 복수의 슬롯에 장착되는 SMU(Source Measure Unit) 보드를 탑재하며, 탑재되는 복수의 상기 SMU 보드를 직렬 또는 병렬로 접속시켜 복수 개의 채널로 확장하는 채널확장 보드;탑재되는 각각의 상기 SMU 보드에 개별적으로 전원을 공급 제어하는 전원공급 제어장치; 및상기 전원공급 제어장치에 의해 개별적으로 공급 제어되는 전원에 의해 각각의 상기 SMU 보드를 통해 측정되는 IC(Integrated Circuit) 소켓의 전압 및 전류를 분석하는 IC소켓 분석장치;를 포함하며, 각각의 상기 SMU 보드는,제1범위의 전류를 인가하기 위한 제1전류 인가부; 및상기 제1범위보다 큰 범위로 설정된 제2범위의 전류를 인가하기 위한 제2전류 인가부;를 포함하고,상기 IC소켓 분석장치는 상기 제1전류 인가부 및 상기 제2전류 인가부에 의해 인가되는 전체 전류범위에서의 채널 측정간 신호간섭 및 상호관계를 분석하여 다중채널 신호의 ISI(Inter-symbol Interference) 시뮬레이션을 수행하는 것을 특징으로 하는, IC소켓 검사용 다중채널 측정 시스템. |
| 2 | 제1항에 있어서,상기 제1전류 인가부 또는 상기 제2전류 인가부에 의해 인가되는 전류를 안정화시키는 인가전류 안정화부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, IC소켓 검사용 다중채널 측정 시스템. |
| 3 | 제1항에 있어서,각각의 상기 SMU 보드는 규격화된 채널 수를 가지며, 실리콘 러버형 IC소켓 측정기술에 기반하여 전류를 측정하는 것을 특징으로 하는, IC소켓 검사용 다중채널 측정 시스템. |
| 4 | IC소켓 검사용 다중채널 측정 시스템에 의해 수행되는 다중채널 측정방법에 있어서,복수의 SMU 보드를 직렬 또는 병렬로 연결하여 채널을 확장하는 단계;각각의 상기 SMU 보드에 전원을 공급하는 단계;각각의 상기 SMU 보드에 제1범위의 전류 또는 상기 제1범위보다 큰 범위로 설정된 제2범위의 전류를 인가하는 단계; 및각각의 상기 SMU 보드를 통해 측정되는 IC 소켓의 전압 및 전류를 분석하는 단계;를 포함하며,상기 IC소켓의 전압 및 전류를 분석하는 단계는 상기 제1범위의 전류 및 상기 제2범위의 전류를 포함하는 전체 전류범위에서의 채널 측정간 신호간섭 및 상호관계를 분석하여 다중채널 신호의 ISI(Inter-symbol Interference) 시뮬레이션을 수행하는 것을 특징으로 하는, 다중채널 측정방법. |
| 5 | 제4항에 있어서,상기 인가되는 전류를 안정화시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 다중채널 측정방법. |
| 6 | 제4항에 있어서,각각의 상기 SMU 보드는 규격화된 채널 수를 가지며, 실리콘 러버형 IC소켓 측정기술에 기반하여 전류를 측정하는 것을 특징으로 하는, 다중채널 측정방법. |