| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 일단에 액화수소가 유입되는 유입구가 형성되고 타단에 액화수소가 배출되는 배출구가 형성되며, 상기 유입구 및 배출구 사이에 액화수소가 유동하는 트림(trim)이 형성된 밸브 몸체를 포함하며, 적어도 상기 트림 부분의 표면에 플라즈마 코팅층이 형성된 액화수소 제어용 밸브. |
| 2 | 제1항에 있어서, 상기 밸브 몸체는 고분자 재료로 만들어진 액화수소 제어용 밸브. |
| 3 | 제1항에 따른 액화수소 제어용 밸브를 제조하는 방법으로서, (S1) 밸브 몸체를 플라즈마 챔버 내부에 투입하는 단계; 및,(S2) 플라즈마 챔버의 전극에 전원을 인가하여 플라즈마를 생성하여 상기 밸브 몸체의 표면에 플라즈마 코팅층을 형성하는 단계;를 포함하는 액화수소 제어용 밸브의 제조 방법. |
| 4 | 제3항에 있어서, 상기 (S2) 단계를 시행하기 전에 상기 플라즈마 챔버 내부에 열풍을 공급하여 밸브 몸체를 120 |