| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 길이 방향을 따라 중공이 형성된 절연부재를 준비하는 단계;상기 절연부재에 형성된 중공의 직경과 같은 직경을 갖는 전도성와이어를 준비하는 단계;상기 절연부재의 중공에 상기 전도성와이어를 삽입하는 단계;전도성 와이어가 삽입된 상기 절연부재를 열과 외력을 인가하여 연신시켜 네킹이 형성되도록 하고, 상기 네킹이 형성된 부분의 파단이 이루어지도록 하여 반제품을 제조하는 단계; 및백금, 탄소, 텅스텐, 금 및 실리카 중 적어도 하나를 포함하는 전도성 물질의 전구체 가스 분위기 하에서 상기 반제품의 외주면에 집속이온빔을 조사하여 서로 이격되는 2 내지 4 개의 증착층을 형성하는 단계;를 포함하는 것이고,상기 증착층은 전기화학적 주사 현미경의 검출 채널이고, 상기 증착층의 개수가 상기 전기화학적 주사 현미경의 검출 채널 개수인 것인 전기화학적 분석을 위한 전극의 제조방법. |
| 2 | 제 1항에 있어서,상기 증착층을 형성하는 단계는상기 반제품의 외주면 소정 영역으로부터 기설정된 거리 이내에 전도성부재를 접촉한 상태에서 상기 반제품의 외주면 소정 영역에 집속이온빔을 조사하는 것인 전기화학적 분석을 위한 전극의 제조방법. |
| 3 | 제 1항에 있어서,상기 증착층을 형성하는 단계는챔버와, 상기 챔버 내부에 전구체 가스 분위기로 치환하는 가스 주입 시스템과, 옴니프로브를 구비하는 집속이온빔 장치를 이용해 상기 반제품의 외주면에 집속이온빔을 조사하되, 상기 옴니프로브인 전도성부재를 접촉한 상태에서 상기 반제품의 외주면에 집속이온빔을 조사하는 것인 전기화학적 분석을 위한 전극의 제조방법. |
| 4 | 제 1항에 있어서, 상기 증착층을 형성하는 단계 이후에 있어서,상기 증착층이 형성된 상기 반제품의 외면에 절연층을 증착하여 형성하는 단계;를 더 포함하는 것인 전기화학적 분석을 위한 전극의 제조방법. |
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| 7 | 제 1항에 있어서,상기 절연부재를 준비하는 단계는붕규산 유리, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 및 석영 중 적어도 하나를 포함하여 구성되는 상기 절연부재를 준비하는 것인 전기화학적 분석을 위한 전극의 제조방법. |
| 8 | 제 1항에 있어서,상기 전도성와이어를 준비하는 단계는백금, 구리, 금, 은, 니켈, 알루미늄, 철, 코발트, 아연, 지르코늄, 크롬,인듐, 납 및 탄소 중 적어도 하나로 구성되는 상기 전도성와이어를 준비하는 것인 전기화학적 분석을 위한 전극의 제조방법. |