| 번호 | 청구항 |
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| 5 | 제 1항에 있어서,교류 자기장 1Oe, 직류자기장 -1000 내지 1000Oe, 주파수 1kHz 조건에서 측정되는 자기전기 출력전압의 최대값이 350 내지 1250 ㎶/cm・Oe인 자기전기 복합체를 제조하는 것인 자기전기 복합체의 제조방법. |
| 1 | 자왜층을 준비하는 단계;상기 자왜층상에 페라이트계 자왜물질과 제1용매를 포함하는 자왜용액을 도포해 코팅층을 형성하여 반제품을 제조하는 단계;상기 코팅층의 표면전하와 비표면적이 증가되도록 상기 반제품을 열처리하는 단계; 및상기 코팅층상에 압전물질을 포함하는 압전용액을 도포하고, 도포된 상기 압전용액을 열처리하여 상기 압전물질의 정렬된 분극을 유도하면서 압전층을 형성하는 단계;를 포함하는 것인 자기전기 복합체의 제조방법. |
| 2 | 제 1항에 있어서, 상기 압전층을 형성하는 단계는상기 압전물질과 제2용매를 혼합하여 압전물질의 농도가 5 초과 10wt% 이하인 상기 압전용액을 준비하는 단계;상기 압전용액을 상기 코팅층상에 200 이상 400㎛ 미만의 두께로 도포하는 단계; 및상기 코팅층상에 도포된 압전용액과 상기 코팅층을 50 이상 110℃ 미만에서 열처리하여 두께가 15 이상 60㎛ 미만인 상기 압전층을 형성하는 단계;를 포함하는 것인 자기전기 복합체의 제조방법. |
| 3 | 제 1항에 있어서, 상기 반제품을 열처리하는 단계는상기 반제품을 400 초과 700℃ 미만에서 열처리하여 상기 코팅층의 접촉각이 1 내지 40°가 되도록 하는 단계;인 것인 자기전기 복합체의 제조방법. |
| 4 | 제 1항에 있어서, 상기 반제품을 열처리하는 단계는,상기 반제품을 400 초과 700℃ 미만에서 열처리하여 상기 자왜층을 산화시켜 상기 자왜층과 상기 코팅층 사이에 반강자성을 갖는 산화층을 형성하는 단계;인 것인 자기전기 복합체의 제조방법. |
| 6 | 제 2항에 있어서, 상기 압전용액을 준비하는 단계는폴리비닐리덴플로라이드, 폴리비닐리덴플로라이드-트리플루오로에틸렌, 폴리비닐리덴플로라이드-테트라플루오로에틸렌 및 트리글리신설페이트 중에 선택되는 적어도 하나를 포함하는 상기 압전물질과 디메틸포름아마이드, 아세톤, 디메틸설폭사이드, N-메틸피롤리돈, 메틸에틸케톤, 디메틸아세트아마이드, 테트라하이드로퓨란, 헥사메틸포스포르아미드 및 트리에틸포스페이트 중에 선택되는 적어도 하나를 포함하는 상기 제2용매를 혼합하여 압전용액을 준비하는 단계인 것인 자기전기 복합체의 제조방법. |
| 7 | 제 1항에 있어서,상기 페라이트계 자왜물질은 AFe2O4의 형태를 갖는 것이며,상기 A는 Co, Fe, Mn, Ni 및 Zn 중에 선택되는 적어도 하나인 것인 자기전기 복합체의 제조방법. |
| 8 | 제 1항에 있어서, 상기 제1용매는 물과 알코올 중에 선택되는 적어도 하나를 포함하는 것인 자기전기 복합체의 제조방법. |
| 9 | 제 1항에 있어서, 상기 자왜층을 형성하는 단계는강자성 금속, 페라이트계 세라믹스, 자왜 합금 및 자성 형상기억 합금 중에 선택되는 적어도 하나를 포함하는 상기 자왜층을 준비하는 단계인 것인 자기전기 복합체의 제조방법. |
| 10 | 자왜층;상기 자왜층상에 형성되고 페라이트계 자왜물질을 포함하며 접촉각이 1 내지 40°인 코팅층; 및상기 코팅층상에 형성되고, 상기 코팅층의 표면전하에 의해 정렬된 분극이 유도된 압전물질을 포함하는 압전층;을 포함하는 것인 자기전기 복합체. |
| 11 | 제 10항에 있어서,교류 자기장 1Oe, 직류자기장 -1000 내지 1000Oe, 주파수 1kHz 조건에서 측정되는 자기전기 출력전압의 최대값이 350 내지 1250 ㎶/cm・Oe인 것인 자기전기 복합체. |
| 12 | 제 10항에 있어서,상기 자왜층과 상기 코팅층 사이에 상기 자왜층이 산화됨에 따라 형성되는 산화층;을 더 포함하는 것인 자기전기 복합체. |
