| 번호 | 청구항 |
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| 2 | 삭제 |
| 3 | 제 1 항에 있어서,상기 펄스 라디오 주파수 신호는 PWM(pulse width modulation) 신호인 것인, 에너지 출력 효율 조절 방법. |
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| 5 | 제 1 항에 있어서,상기 펄스 라디오 주파수 신호의 기울기가 증가할수록 주파수 영역에서의 상기 펄스 라디오 주파수 신호의 중심 주파수에 인접한 하모닉 주파수에서의 에너지가 증가하는 것인, 에너지 출력 효율 조절 방법. |
| 6 | 제 5 항에 있어서,상기 중심 주파수에 인접한 하모닉 주파수는 상기 중심 주파수로부터 +/- 0.01 MHz 크기를 가지는 주파수인 것인, 에너지 출력 효율 조절 방법. |
| 1 | 플라즈마 생성을 위한 에너지 출력 효율 조절 방법에 있어서,기울기를 가지는 펄스 라디오 주파수(Pulsed RF) 신호를 생성하는 단계;상기 펄스 라디오 주파수 신호를 증폭하는 단계; 및상기 증폭된 펄스 라디오 주파수 신호를 플라즈마 생성 장치로 제공하는 단계,를 포함하고,상기 펄스 라디오 주파수 신호의 기울기를 변경함으로써 주파수 영역에서의 상기 펄스 라디오 주파수 신호의 에너지 특성이 변경되고, 상기 기울기를 가지는 펄스 라디오 주파수 신호를 생성하는 단계는,주기 및 크기를 가지는 라디오 주파수 신호를 ON-OFF하여 라디오 주파수 신호가 출력되는 구간과 출력되지 않는 구간을 결정하는 단계;상기 라디오 주파수 신호의 크기를 1로 정규화하는 단계;상기 라디오 주파수 신호가 출력되는 구간에서 상기 라디오 주파수 신호의 최소 크기값인 제1크기값 및 정규화된 크기인 1에서 상기 제1크기값을 차감한 제2크기값을 결정하는 단계; 상기 라디오 주파수 신호가 출력되는 구간의 시간값 및 상기 제2크기값에 기초하여 상기 라디오 주파수 신호의 기울기를 인가하는 단계; 및상기 기울기가 인가된 라디오 주파수 신호에 중심 주파수를 가지는 코사인파를 인가하여 기울기를 가지는 펄스 라디오 주파수 신호를 생성하는 단계,를 포함하는 것인, 에너지 출력 효율 조절 방법. |
| 7 | 제 5 항에 있어서,상기 증폭된 기울기를 가지는 펄스 라디오 주파수 신호의 주파수 영역에서의 중심 주파수 및 중심 주파수에 인접한 하모닉 주파수 성분을 선별하는 단계,를 더 포함하고,상기 증폭된 펄스 라디오 주파수 신호를 플라즈마 생성 장치로 제공하는 단계는 상기 선별된 주파수 성분의 펄스 라디오 주파수 신호를 제공하는 것인, 에너지 출력 효율 조절 방법. |
| 8 | 제 1 항에 있어서,상기 주기 및 크기를 가지는 라디오 주파수 신호는 미리 설정된 수의 톤(tone)을 가지는 밴드 제한 라디오 주파수 신호인 것인, 에너지 출력 효율 조절 방법. |
| 9 | 삭제 |
| 10 | 삭제 |
| 11 | 플라즈마 생성을 위한 에너지 출력 효율 조절 장치에 있어서,기울기를 가지는 펄스 라디오 주파수(Pulsed RF) 신호를 생성하는 신호 생성부;상기 펄스 라디오 주파수 신호를 증폭하는 전력 증폭기; 및상기 증폭된 펄스 라디오 주파수 신호를 제공받아 플라즈마를 생성하는 플라즈마 생성 장치,를 포함하고,상기 신호 생성부는 출력되는 라디오 주파수 신호의 크기를 조절하는 조절부;주기 및 크기를 가지는 라디오 주파수 신호를 ON-OFF하여 라디오 주파수 신호가 출력되는 구간과 출력되지 않는 구간을 결정하고, 상기 라디오 주파수 신호의 크기를 1로 정규화하고, 상기 라디오 주파수 신호가 출력되는 구간에서 상기 라디오 주파수 신호의 최소 크기값인 제1크기값 및 정규화된 크기인 1에서 상기 제1크기값을 차감한 제2크기값을 결정하고, 상기 라디오 주파수 신호가 출력되는 구간의 시간값 및 상기 제2크기값에 기초하여 상기 라디오 주파수 신호의 기울기를 인가하는 생성부; 중심 주파수를 가지는 코사인파를 생성하는 펄스 인가부;상기 기울기가 인가된 라디오 주파수 신호에 상기 코사인파를 인가하는 믹서; 및상기 기울기가 인가된 라디오 주파수 신호와 상기 코사인파가 결합된 기울기를 가지는 펄스 라디오 주파수 신호를 증폭하는 증폭기,를 포함하고, 상기 펄스 라디오 주파수 신호의 기울기를 변경하고, 상기 펄스 라디오 주파수 신호의 기울기를 변경함으로써, 주파수 영역에서의 상기 펄스 라디오 주파수 신호의 에너지 특성을 변경하는 것인, 에너지 출력 효율 조절 장치. |
| 12 | 삭제 |
| 13 | 제 11 항에 있어서,상기 펄스 라디오 주파수 신호는 PWM(pulse width modulation) 신호인 것인, 에너지 출력 효율 조절 장치. |
| 14 | 삭제 |
| 15 | 제 11 항에 있어서,상기 펄스 라디오 주파수 신호의 기울기가 증가할수록 주파수 영역에서의 상기 펄스 라디오 주파수 신호의 중심 주파수에 인접한 하모닉 주파수에서의 에너지가 증가하는 것인, 에너지 출력 효율 조절 장치. |
| 16 | 제 15 항에 있어서,상기 중심 주파수에 인접한 하모닉 주파수는 상기 중심 주파수로부터 +/- 0.01 MHz 크기를 가지는 주파수인 것인, 에너지 출력 효율 조절 장치. |
| 17 | 제 15 항에 있어서,상기 증폭된 기울기를 가지는 펄스 라디오 주파수 신호의 주파수 영역에서의 중심 주파수 및 중심 주파수에 인접한 하모닉 주파수 성분을 선별하고, 선별된 주파수 성분의 펄스 라디오 주파수 신호를 상기 플라즈마 생성 장치로 제공하는 공진기,를 더 포함하는 것인, 에너지 출력 효율 조절 장치. |
| 18 | 제 11 항에 있어서,상기 주기 및 크기를 가지는 라디오 주파수 신호는 미리 설정된 수의 톤(tone)을 가지는 밴드 제한 라디오 주파수 신호인 것인, 에너지 출력 효율 조절 장치. |
| 19 | 삭제 |
| 20 | 삭제 |
| 21 | 제 1 항, 제 3 항, 제 5 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항의 방법을 컴퓨터에서 실행하기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터에서 판독 가능한 기록매체. |
