| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 | 전기 신호를 받아 광을 발생시키거나, 광 신호를 받아 전기를 발생시키는 전기 광학부; 및상기 전기 광학부 상에 형성되며, 질화알루미늄(AlN)으로 이루어진 제 1 패시베이션층 및 상기 제 1 패시베이션층 상에 형성되며, 금속을 포함하는 제 2 패시베이션층을 구비하는 패시베이션부;를 포함하고,상기 제 1 패시베이션층과 제 2 패시베이션층이 교대로 적층 형성되며,상기 전기 광학부 상에 상기 제 1 패시베이션층이 직접 접촉되도록 형성되고,최외각층이 상기 제 1 패시베이션층이 되도록 상기 제 1 패시베이션층을 복수개 형성하는 전기 광학 소자. |
| 2 | 삭제 |
| 3 | 삭제 |
| 4 | 청구항 1에 있어서,상기 제 1 패시베이션층 및 제 2 패시베이션층 각각은 0.1 nm 내지 1000 nm의 두께로 형성하는 전기 광학 소자. |
| 5 | 청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 제 2 패시베이션층은 전이 금속 및 전이후 금속 중 적어도 하나를 포함하는 전기 광학 소자. |
| 6 | 청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 전기 광학부는 유기 발광 소자(organic light emitting device), 유연성 유기발광소자(flexible organic light emitting device), 태양전지(solar cell) 중 어느 하나인 전기 광학 소자. |