| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 | 외부에 존재하는 제너레이터(Generator)와 플라즈마 챔버를 전기적으로 연결하는 적어도 하나의 플라즈마 소스를 포함하는 플라즈마 소스 어레이; 및상기 플라즈마 소스로부터 전달된 전자기파에 기초하여 플라즈마를 생성하는 플라즈마 챔버를 포함하되,상기 플라즈마 소스는, 상기 제너레이터와 전기적으로 연결되는 커넥터와,상기 커넥터의 일측에 배치되어 미리 정해진 전자기파 모드를 형성하는 도파관 영역과,상기 도파관 영역의 일측에 배치되어 상기 플라즈마 챔버에 상기 도파관 영역으로부터 형성된 전자기파를 방출하는 안테나 영역과,상기 도파관 영역을 둘러싸도록 배치되는 주변 영역을 포함하고,상기 도파관 영역은, 상기 도파관 영역의 형태에 따라 미리 정의된 TM(Transverse Mode) 모드를 형성하되, 상기 도파관 영역의 형태가 원통인 경우, 상기 도파관 영역은 TM01 모드의 전자기파를 형성하고, 상기 도파관 영역의 형태가 직육면체인 경우, 상기 도파관 영역은 TM11 모드의 전자기파를 형성하며,상기 주변 영역은 메탈(Metal)을 포함하고, 상기 안테나 영역의 일단은, 상기 주변 영역의 일단과 맞닿도록 배치되거나 또는 상기 주변 영역과 일부 구간에서 중첩되도록 배치되고,상기 안테나 영역의 일단이 상기 주변 영역과 일부 구간에서 중첩되도록 배치되는 경우, 상기 주변 영역은 상기 안테나 영역에서 상기 주변 영역과 최인접한 일단이 추가적으로 삽입될 수 없도록 걸림 역할을 수행하는 단차를 포함하는 플라즈마 발생 장치. |
| 2 | 삭제 |
| 3 | 삭제 |
| 4 | 삭제 |
| 5 | 삭제 |
| 6 | 제1 항에 있어서,상기 도파관 영역은, 내부에 공기(Air), 세라믹(Ceramic) 및 PTFE(Polytetrafluoroethylene) 중 적어도 하나를 포함하는플라즈마 발생 장치. |
| 7 | 제1 항에 있어서,상기 커넥터는, N-type 커넥터를 포함하는플라즈마 발생 장치. |
| 8 | 제1 항에 있어서,상기 안테나 영역은, 알루미나(Al2O3) 및 이산화규소(SiO2) 및 이트리아(Y2O3) 중 적어도 하나를 포함하는 플라즈마 발생 장치. |
| 9 | 삭제 |
| 10 | 제1 항에 있어서,상기 플라즈마 챔버는,상기 플라즈마 소스와 연결되는 메탈 월(Metal Wall)과,상기 메탈 월의 일측에 배치되는 기판 홀더(Substrate Holder)를 포함하는플라즈마 발생 장치. |
