하이브리드 구조를 갖는 생체 전극 및 이의 제조 방법
BIOLOGICAL ELECTRODE HAVING HYBRID STRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
특허 요약
본 발명은 채널(Channel), 트레이스(Trace) 및 패드(Pad)를 포함하는 전극부를 하이브리드 구조로 형성함으로써, 더욱 높은 투명성을 확보할 수 있는 생체 전극 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 상기 생체 전극은, 기판(Substrate) 및 상기 기판 상에 배치되는 전극부를 포함하되, 상기 전극부는, 사용자의 신체에 대한 측정 데이터를 측정하는 채널(Channel)과, 상기 채널과 연결되어 상기 측정 데이터를 패드(Pad)로 전달하는 트레이스(Trace)와, 상기 트레이스와 연결되어 상기 트레이스로부터 상기 측정 데이터를 수신하여 외부로 출력하는 패드를 포함하되, 상기 전극부는, 상기 채널, 상기 트레이스 및 상기 패드 중 어느 하나의 구성이 다른 구성과 구성 물질이 상이한 하이브리드(Hybrid) 구조를 가질 수 있다.
청구항
번호청구항
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제1 항에 있어서,상기 기판의 구성 물질은, 파렐린 C(Parylene-C), 폴리이미드(Polyimide, PI) 및 PDMS(Polydimethylsiloxane) 중 적어도 하나를 포함하는생체 전극.

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기판(Substrate); 및상기 기판 상에 배치되는 전극부를 포함하되,상기 전극부는, 사용자의 신체에 대한 측정 데이터를 측정하는 채널(Channel)과,상기 채널과 연결되어 상기 측정 데이터를 패드(Pad)로 전달하는 트레이스(Trace)와,상기 트레이스와 연결되어 상기 트레이스로부터 상기 측정 데이터를 수신하여 외부로 출력하는 패드를 포함하되,상기 전극부는, 상기 채널, 상기 트레이스 및 상기 패드 중 어느 하나의 구성이 다른 구성과 구성 물질이 상이한 하이브리드(Hybrid) 구조를 갖는생체 전극.

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제1 항에 있어서,상기 채널과 상기 패드를 연결하는 상기 트레이스의 구성 물질은, 상기 채널의 구성 물질 및 상기 패드의 구성 물질과 서로 상이한생체 전극.

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제2 항에 있어서,상기 채널의 구성 물질 및 상기 패드의 구성 물질은 제1 물질을 포함하고,상기 트레이스의 구성 물질은, 상기 제1 물질과 상이한 제2 물질을 포함하고,상기 제2 물질은 상기 제1 물질에 비하여 투명도(Transparent)가 높은 물질을 포함하는생체 전극.

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제3 항에 있어서,상기 제1 물질은, 메탈(Metal)을 포함하는생체 전극.

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제3 항에 있어서,상기 제2 물질은, 그래핀(Graphene), PEDOT:PSS(Poly(3,4-ethylenedioxythiophene)-poly(styrenesulfonate)) 및 실버 나노 와이어(Silver Nanowires, AgNWs) 중 적어도 하나를 포함하는생체 전극.

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웨이퍼(Wafer) 상에 기판을 코팅하는 단계;상기 기판 상에 전극부를 형성하는 단계; 및상기 기판 및 상기 전극부 상에 패시베이션(Passivation)을 형성하는 단계를 포함하되,상기 전극부를 형성하는 단계는,상기 기판 상에 채널과 패드를 형성하는 단계와,상기 기판 상에 트레이스를 형성하는 단계를 포함하고,상기 전극부는, 상기 채널, 상기 트레이스 및 상기 패드 중 어느 하나의 구성이 다른 구성과 구성 물질이 상이한 하이브리드 구조를 갖는생체 전극의 제조 방법.

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제7 항에 있어서,상기 트레이스를 형성하는 단계는,상기 채널과 상기 패드를 형성하는 단계와는 다른 구성 물질을 이용하여 상기 트레이스를 형성하는 단계를 포함하는 생체 전극의 제조 방법.

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제8 항에 있어서,상기 채널의 구성 물질 및 상기 패드의 구성 물질은 제1 물질을 포함하고,상기 트레이스의 구성 물질은, 상기 제1 물질과 상이한 제2 물질을 포함하고,상기 제2 물질은 상기 제1 물질에 비하여 투명도(Transparent)가 높은 물질을 포함하는생체 전극의 제조 방법.

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제7 항에 있어서,상기 트레이스를 형성하는 단계는,상기 기판 상에 Ÿ‡ 트랜스퍼(Wet Transfer) 공정 또는 드라이 트랜스퍼(Dry Transfer) 공정을 통해 상기 트레이스를 형성하는 단계를 포함하는생체 전극의 제조 방법.