| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 페브리-페로 구조;프로브 신호를 출력하는 광원;상기 페브리-페로 구조에 연결되고, 상기 프로브 신호를 상기 페브리-페로 구조로 출력하고, 상기 페브리-페로 구조로부터 반사되는 변조 신호를 출력하는 광 순환기(optical circulator);상기 페브리-페로 구조에 측정 대상인 광을 입력하는 광 입력부; 및상기 프로브 신호 및 상기 변조 신호를 기초로 상기 광의 파워를 측정하는 신호 처리부를 포함하고,상기 페브리-페로 구조는,상기 광 순환기와 연결되는 제1 광섬유;상기 광 입력부와 연결되는 제2 광섬유;상기 제1 광섬유의 단부(end) 및 상기 제2 광섬유의 단부 사이에 배치되며, 광열(photothermal) 특성을 가지는 물질; 및상기 제1 광섬유의 상기 단부와 상기 물질 사이에 또는 상기 제2 광섬유의 상기 단부와 상기 물질 사이에 배치되는 폴리머 필름을 포함하는 것이고,상기 물질의 온도는 상기 광의 상기 파워에 따라서 변화하고, 상기 폴리머 필름의 부피는 상기 물질의 상기 온도가 변화하는 것에 따라서 변화하며,상기 변조 신호는 상기 폴리머 필름의 상기 부피가 변화하는 것에 따라서 변조되는 것인 페브리-페로 구조 기반의 광 파워미터. |
| 2 | 제1항에 있어서,상기 폴리머 필름의 굴절률은 상기 물질의 상기 온도가 변화하는 것에 따라서 변화하는 것인 페브리-페로 구조 기반의 광 파워미터. |
| 3 | 제1항에 있어서,상기 제2 광섬유와 상기 광 입력부 사이에 배치되며, 상기 광을 시준하는 시준기(collimator)를 더 포함하는 페브리-페로 구조 기반의 광 파워미터. |
| 4 | 제1항에 있어서,상기 광은 2 μm 내지 13 μm의 중적외선 대역의 파장을 가지는 것인 페브리-페로 구조 기반의 광 파워미터. |
| 5 | 제1항에 있어서,상기 신호 처리부는 상기 프로브 신호의 강도(intensity)와 상기 변조 신호의 강도를 비교하여 상기 광의 상기 파워를 측정하는 것인 페브리-페로 구조 기반의 광 파워미터. |
| 6 | 제1항에 있어서,상기 제1 광섬유와 상기 제2 광섬유는 동일하거나 서로 다른 것인 페브리-페로 구조 기반의 광 파워미터. |
| 7 | 제1항에 있어서,상기 물질은 그래핀(graphene), 전이 금속 디칼코제나이드 (transition metal dichalcogenides), 흑린(black phosphorus), 육화정계 질화 붕소(hexagonal boron nitride), MXene, 금 나노 입자, 금 나노 막대, 탄소 나노 튜브, 탄화지르코늄, 산화지르코늄, 위상 절연체(topological insulator) 및 광열 특성을 가지는 나노 물질 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것인 페브리-페로 구조 기반의 광 파워미터. |
| 8 | 제1항에 있어서,상기 폴리머 필름은, NOA 61, NOA 81, NOA 85, NBA 107, UVS 91, NEA 121, 굴절률 오일(refractive index oil), 폴리비닐알코올(polyvinyl alcohol) 및 온도에 따라 부피가 변화하는 폴리머 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것인 페브리-페로 구조 기반의 광 파워미터. |
| 9 | 제1항에 있어서,상기 폴리머 필름의 표면은 연마되는 것인 페브리-페로 구조 기반의 광 파워미터. |
| 10 | 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 페브리-페로 구조 기반의 광 파워미터를 이용하여, 광의 파워를 측정하는 방법. |